Dimensions des sondes, des wafers et de la cellule
Cellule pour échantillonnage (E)
à double fenêtre
Cellule pour échantillonnage (E)
à double fenêtre
Cellule pour échantillonnage (E)
à double fenêtre
Cellule pour échantillonnage (E)
à double fenêtre
OPL
Longueur
➊
400 mm
200 mm
(15.7")
(7.9")
800 mm
400 mm
(31.5")
(15.7")
(1 000 mm
(500 mm
(39.4")
(19.7")
Longueur
➋
Longueur
➌
321 mm
S/O
(12.6")
S/O
521 mm
S/O
(20.5")
S/O
(621 mm
S/O
(24.4")
S/O
Longueur
➍
200 mm
(7.9")
400 mm
(15.7")
(500 mm
(19.7")
71