Directives d'installation
4.5 Purge
Figure 4-11
Configuration de la purge de boîtier optique
Remarque
Si vous utilisez un tube en plastique, assurez-vous d'utiliser la tige d'insertion en métal rigide.
Voir aussi
Purge de l'interface de processus optique (Page 52)
Calculs du flux de gaz (Page 56)
28
LDS 6, boîtier optique CD 6
Instructions de service, 01/2022, A5E01134378-04