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2 Consignes de sécurité
Les consignes de sécurité contenues dans ce document se
réfèrent uniquement à un produit seul. La combinaison avec
d'autres parties de l'installation peut entraîner des risques po-
tentiels qui doivent être examinés dans le cadre d'une analyse
des dangers. L'exploitant est responsable de l'élaboration de
l'analyse des dangers, du respect des mesures préventives
qui en résultent, ainsi que de l'observation des réglementa-
tions régionales de sécurité.
Le document contient des consignes de sécurité fondamen-
tales qui doivent être respectées lors de la mise en service, de
l'utilisation et de l'entretien. Le non-respect des consignes de
sécurité peut avoir les conséquences suivantes :
–
Exposition du personnel à des dangers d'origine élec-
trique, mécanique et chimique.
–
Risque d'endommager les installations placées dans le
voisinage.
–
Défaillance de fonctions importantes.
–
Risque de pollution de l'environnement par rejet de
substances toxiques en raison de fuites.
Les consignes de sécurité ne tiennent pas compte :
–
des aléas et événements pouvant se produire lors du
montage, de l'utilisation et de l'entretien.
–
des réglementations de sécurité locales, dont le res-
pect relève de la responsabilité de l'exploitant (y com-
pris en cas d'intervention de personnel extérieur à la
société).
Avant la mise en service :
1. Transporter et stocker le produit de manière adaptée.
2. Ne pas peindre les vis et éléments en plastique du produit.
3. Confier l'installation et la mise en service au personnel
qualifié et formé.
4. Former suffisamment le personnel chargé du montage et
de l'utilisation.
5. S'assurer que le contenu du document a été pleinement
compris par le personnel compétent.
6. Définir les responsabilités et les compétences.
7. Tenir compte des fiches de sécurité.
8. Respecter les réglementations de sécurité s'appliquant
aux fluides utilisés.
Lors de l'utilisation :
9. Veiller à ce que ce document soit constamment dispo-
nible sur le site d'utilisation.
10. Respecter les consignes de sécurité.
11. Utiliser le produit conformément à ce document.
12. Utiliser le produit conformément aux caractéristiques
techniques.
13. Veiller à l'entretien correct du produit.
14. Les travaux d'entretien ou de réparation qui ne sont pas
décrits dans ce document ne doivent pas être effectués
sans consultation préalable du fabricant.
www.gemu-group.com
En cas de doute :
15. Consulter la filiale GEMÜ la plus proche.
3 Description du produit
3.1 Conception
N°
1
2
3
4
3.2 Description
La vanne à clapet à membrane 2/2 voies GEMÜ C53 iComLine
a été conçue pour les applications de régulation précises et
complexes nécessaires à la fabrication des semi-conduc-
teurs. Le principe d'étanchéité de la vanne repose sur la tech-
nologie PD (Plug Design) éprouvée de GEMÜ, c'est-à-dire que
l'actionneur et le fluide sont séparés au moyen d'un clapet de
régulation en PTFE. Le contour du clapet de régulation, la
course de l'actionneur et les tailles de raccord peuvent être
adaptés aux besoins spécifiques du client. De ce fait, la
GEMÜ C53 iComLine répond à la quasi-totalité des exigences
de l'industrie high-tech des semi-conducteurs en matière de
régulation et de débit. Grâce à la combinaison d'un moteur
pas à pas précis et de matériaux de corps ultra-purs, elle peut
notamment être utilisée dans chaque usine de fabrication de
semi-conducteurs pour les process de lithographie, de polis-
sage mécanochimique et de gravure, tout comme pour les ap-
plications du domaine analytique.
3.3 Fonctionnement
Le produit a été conçu pour être installé dans une tuyauterie.
Il pilote le fluide qui le traverse en se fermant ou en s'ouvrant
par l'intermédiaire d'un actionneur électrique.
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3 Description du produit
4
1
2
3
Désignation
Actionneur
Composants
externes de
l'actionneur en
PVDF
PD de régulation
PTFE TFM™
Corps de vanne
PFA, PTFE
Connexion
PPS
électrique
Matériaux
GEMÜ C53
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