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Lecture de la référence [P:388]
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8.1 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
Le signal de mesure de la jauge dépend du type de gaz. Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge sur l'azote
(N
) ou l'air sec. Le facteur de correction peut être utilisé pour compenser la dépendance par rapport au
2
type de gaz.
p [hPa]
1E3
1E2
1E1
1E0
1E-1
1E-2
1E-3
1E-4
1E-4
Fig. 7:
Dans le domaine de pression < 1 hPa, l'affichage est linéaire.
Type de gaz
Azote (N
Air
Hydrogène (H
Hélium (He)
Argon (Ar)
Dioxyde de carbone (CO
Tab. 11:
1E-3
1E-2
1E-1
Dépendance par rapport au type de gaz pour le capteur Pirani
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
)
2
)
2
)
2
Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa
N
2
Air
H
2
He
Ar
CO
2
1E0
1E1
1E2
p
eff
Facteur de correction (C)
1,0
1,0
0,58
1,02
1,59
0,89
Fonctionnement
1E3
[hPa]
27/50
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