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Système de
Unité de mise au point :
mise au point
Commande de mise au point de précision : Course par tour : 0,1 mm
Commande de mise au point rapide : Course par tour : 17,8 mm
Avec mécanisme de réglage de la rotation et mécanisme de butée
supérieure
Entraînement
MFD-2
de mise au
point motorisé
Platine du
Scan 130 x 85
microscope
OLYMPUS Cleanliness Inspector CIX100
Résolution
typique 0,002 μm,
selon la démultiplication
de l'entraînement de mise au point
correspondant
Moteur
Moteur pas à pas biphasé
Rotations max.
60 rotations / s
Matériau
Aluminium
Surface
Couche anodisée, laquée noire
Zone de déplacement
Vitesse de déplacement
Répétabilité
Précision
Résolution
Orthogonalité
Type de moteur
Fin de course
Matériau / surface
31
13 Caractéristiques techniques
max. 130 mm × 85 mm
max. 120 mm/s (avec pas
de vis de 2 mm)
max. 240 mm/s (avec pas
de vis de 4 mm)
< 1 μm (bi-directionnel)
±3 μm
0,01 μm (plus petit
incrément)
< 10 arcsec
Moteur pas à pas biphasé
Barrières photoélectriques
réglables en continu
Aluminium / couche
anodisée, laquée noire
Configuration du système
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