Table Des Matières - Edwards AIM-S-NW25 Mode D'emploi

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Table des matières

Section
1
Introduction ....................................................................................... 1
1.1
Portée et définitions .................................................................................................... 1
1.2
Description ................................................................................................................ 1
1.3
Dépendance vis-à-vis du gaz ........................................................................................... 2
2
Caractéristiques techniques .................................................................... 5
2.1
Caractéristiques mécaniques .......................................................................................... 5
2.2
Performances, conditions de fonctionnement et de stockage .................................................... 5
2.3
Caractéristiques électriques ........................................................................................... 7
2.4
Contrôle des erreurs .................................................................................................... 7
2.5
Matériaux exposés au vide ............................................................................................. 8
3
Installation ......................................................................................... 9
3.1
Déballage et vérifications .............................................................................................. 9
3.2
Installation de la jauge AIM sur le système de vide ................................................................ 9
3.3
Raccordements électriques ............................................................................................ 9
3.3.1
Brancher aux contrôleurs Edwards ou à l'afficheur AGD ........................................................... 9
3.3.2
Brancher à votre alimentation et à votre équipement de commande ......................................... 10
4
Fonctionnement ................................................................................ 13
4.1
Consignes de sécurité ..................................................................................................13
4.2
Activation et désactivation de la jauge AIM ........................................................................ 13
4.3
Mesure de pression .....................................................................................................13
4.4
Point de consigne .......................................................................................................14
5
Entretien ......................................................................................... 15
5.1
Introduction ............................................................................................................. 15
5.2
Remplacer le tube ......................................................................................................15
5.2.1
Retirer la jauge AIM du système de vide ............................................................................ 15
5.2.2
Installer le nouveau tube ..............................................................................................15
5.2.3
Réinstaller la jauge AIM sur le système de vide .................................................................... 15
5.3
Remplacer l'ensemble électrode ..................................................................................... 17
5.4
Remplacer le boîtier aimant et électronique ...................................................................... 17
5.5
Nettoyer les composants internes .................................................................................... 17
5.6
Identification des pannes ..............................................................................................18
6
Stockage et mise au rebut .................................................................... 19
6.1
Stockage .................................................................................................................. 19
6.2
Mise au rebut ............................................................................................................ 19
6.3
Renvoyer des équipements ou des composants pour entretien ................................................. 19
7
Pièces détachées et accessoires ............................................................. 21
7.1
Introduction ............................................................................................................. 21
7.2
Pièces détachées .......................................................................................................21
7.3
Accessoires ............................................................................................................... 21
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D14641883 Issue L
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