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E - MANUEL OPERATEUR
CAS DU HPI AUTOMATIQUE
Cas du test de fuite n°1
Cas du test de fuite n°2
Il convient de vérifier les électrovannes incriminées, ainsi que la ligne dans laquelle elles se trouvent.
CAS DU HPI MANUEL
Cas du test de fuite n°1
Cas du test de fuite n°2
Il convient de vérifier les électrovannes incriminées, ainsi que la ligne dans laquelle elles se trouvent.
CAS DU PLASMA ESSENTIAL
Pas de test.
E-112
Pression baisse sur gaz
Ar
O2
N2H2
Air
ArH2
N2
Pression baisse sur gaz
O2
N2
Pression baisse sur gaz
N2H2
Ar
N2
O2
ArH2
Pression baisse sur gaz
Ar
O2
N2
N2H2
ArH2
Fuite possible sur electrovanne
Y5
Y1 ou Y3
Y11
Y7
Y12 ou Y15
Y13 ou Y16
Fuite possible sur electrovanne
Y9
Y6
Fuite possible sur electrovanne
Y108
Y101 ou Y102
Y109 (ou Y112 ou Y114)
Y113
Y111
Fuite possible sur electrovanne
Y105
Y109 (ou Y112 ou Y116)
Y115 ou Y117
Y119
Y111
HPC DIGITAL PROCESS II
8695 4944 / D
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