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8695 4944 / D
CONFIGURATION DES INSTALLATIONS PLASMA
1
Modification du procédé plasma
2
Gestion des offsets
MODIFICATION DES PARAMETRES DU CYCLE PLASMA HPi
1
Temps avant reprise du palpage
2
Temps de remontée de l'outil à la fin d'une coupe
3
Tempo entre deux mesures de G2
HPC DIGITAL PROCESS II
Passage à l'écran suivant
3
4
Temps d'ouverture de la purge des gaz en cas de
changement de gaz dangereux
5
Temps d'ouverture de la purge des gaz
6
Non utilisée
E - MANUEL OPERATEUR
E-91
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