1. Suorita n ollapistekalibrointi, k uten e dellisessä l uvussa
on selitetty .
2. Suorita yksipistekalibrointi kalvolla 1, kuten aikai-
semmassa luvussa on selitetty .
3 . Toista vaihe 2 kalvolla 2 .
4 . Suorita mittaus pitämällä anturia pinnoitteen päällä,
joka on tarkoitus mitata, ja siirrä anturi pois merkki
äänen jälkeen . Mittausarvo tulee näyttöön .
1. Aseta anturi joitakin kertoja mallikappa-
leen päälle.
2. Kalvon paksuuden tulisi olla suunnilleen
sama kuin arvioitu mitattavan kohteen pin-
noitteen vahvuus.
3. Kalvokalibrointi voidaan suorittaa käyn-
nissä olevan mittaussarjan aikana niin
monta kertaa kuin on tarpeen. Uusi kali-
brointi kirjoitetaan vanhan päälle; nolla-
kalibrointi pysyy muistissa, kunnes se
suoritetaan uudestaan.
4. Tarkempia tietoja löydät yksipistekalib-
rointeja koskevasta luvusta.
Kuulapuhalletut pinnat
(Kuula)puhallettujen pintojen fysikaalisen luonteen
vuoksi kerrospaksuuden mittaukset ovat tavallisesti
liian suuria . Keskipaksuus huippujen kautta voidaan
määrittää seuraavalla tavalla .
Menetelmä A
1. Suorita yksi- ja kaksipistekalibroinnin vaiheet, kuten
edellä on kuvattu . Käytä sileää mallikappaletta,
jolla on sama kaarevuus (pinnan kaarevuus) ja
sama alustamateriaali kuin myöhemmin mitatta-
valla kohteella .
2. Suorita n. 10 mittausta pinnoittamattomalta (kuula)
puhalletulta mallikappaleelta saadaksesi keskiar-
von "Xo".
3. Suorita sen jälkeen vielä suunnilleen 10 mittausta
pinnoitetulta (kuula)puhalletulta mallikappaleelta
saadaksesi keskiarvon "Xm".
4 . Kummankin keskiarvon erotus antaa kerrospaksu-
uden keskiarvon "Xeff". Lisäksi tulee ottaa huomi-
o
FIN
oon kummankin arvon Xm ja Xo suurempi keskiha-
jonta "s": Xeff = (Xm - Xo) ±S
Menetelmä B
1. Suorita nollakalibrointi 10 mittauksella puhalletulta,
2 . Kerroksen paksuus voidaan lukea suoraan näytöstä, ja
se tulisi saada 5 –10 yksittäismittauksen keskiarvona.
Menetelmä C:
Menettele ensin samoin kuin on selitetty kahdella kalvolla
tapahtuvan kaksipistekalibroinnin kohdalla (katso kappale
4.2.3.). Jotta päästäisiin mahdollisimman lähelle pinnan
ominaisuuksia, kalvon arvo voidaan saavuttaa käyttämällä
joitakin 50 µm paksuja kalvoja . Pinnoitteen keskipaksuus
tulisi saada 5—10 yksittäismittauksen avulla. Tilastotoi-
minto on osoittautunut tässä erittäin hyödylliseksi .
Yleisiä mittausohjeita
Jos kalibrointi on suoritettu huolellisesti, kaikki seuraavak-
si suoritettavat mittaukset ovat taatun mittaustoleranssin
sisällä . Vahvan virtakentän omaavien generaattoreiden tai
kiskolaitteistojen lähellä vallitsevat voimakkaat magneetti-
set kentät voivat vaikuttaa mittausarvoihin. Jos käytetään
tilasto-ohjelmaa keskiarvon laskemiseen, on hyvä asettaa
anturi joitakin kertoja tyypillisen mittauskohdan päälle .
Väärät mittausarvot tai vieraat havainnot voidaan poistaa
heti valikosta . Viimeinen arvo on peräisin tilastollisesta las-
kennasta ja mittausarvon taatuista toleranssiasteista .
Kerroksen paksuus = X ±s ±µ
Esimerkki:
Mittausarvot: 150 µm, 156 µm, 153 µm
keskiarvo: X = 153 µm
keskihajonta: s = ±3 µm
Mittaustarkkuus: µ = ±(1 % mittausarvosta + 1 µm)
d = 153 ±3 ±(1,53 µm + 1 µm) = 153 ±5,5 µm
käyttöOhje – kerrOspaksuusMittari BB 20
pinnoittamattomalta mallikappaleelta . Suorita sen
jälkeen
kalvokalibrointi
alustalta . Kalibrointi tulisi suorittaa joukolla erilaisia
kalvoja, joiden maksimipaksuus on 50 μm, jotka
ovat vastaavana yhdistelmänä suunnilleen yhtä
paksuja kuin oletettu kerroksen paksuus .
Karkealla pinnalla ei ole merkitystä yli 300 µm:n
kerrospaksuuksilla . tässä ei tule käyttää edellä
mainittuja kalibrointimenetelmiä .
pinnoittamattomalta
L - 8