Varian Turbo-V 550 ICE Notice De Mode D'emploi

Masquer les pouces

page de 78

/ 78
Signets

Les langues disponibles

Liens rapides

Télécharger ce manuel

Turbo-V 550 ICE

controller

Model 969-9434

Model 969-9534

87-900-903-01 (G)

APRIL 2002

vacuum technologies

MANUALE ISTRUZIONI

BEDIENUNGSHANDBUCH

NOTICE DE MODE D'EMPLOI

MANUAL DE ISTRUCCIONES

MANUAL DE ISTRUÇÕES

BEDRIJFSHANDLEIDING

ISTRUKSTIONSBOG

BRUKSANVISNING

INSTRUKSJON MANUAL

OHJEKÄSIKIRJA

Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ

INSTRUCTION MANUAL

Sommaire des Matières pour Varian Turbo-V 550 ICE

Page 1 Turbo-V 550 ICE MANUALE ISTRUZIONI controller BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE ISTRUCCIONES Model 969-9434 MANUAL DE ISTRUÇÕES Model 969-9534 BEDRIJFSHANDLEIDING ISTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ INSTRUCTION MANUAL 87-900-903-01 (G) APRIL 2002...
Page 2 Turbo-V 550 ICE Controller...
Page 5 BRUKERVEILEDNING ....................KÄYTTÖOHJEET ......................2'+*,(6&5+6(:6........................41 INSTRUCTIONS FOR USE ................... TECHNICAL INFORMATION ..................TURBO-V 550 ICE CONTROLLER DESCRIPTION ..............CONTROLLER SPECIFICATIONS ....................CONTROLLER OUTLINE ....................... FUSE HOLDER AND VOLTAGE CHANGER ASSEMBLY.............. INTERCONNECTIONS ........................Connection P1 - Logic Input Interconnections ...............
Page 6 USE ..............................General ..........................Startup ........................... Front/Remote/Serial Selection ....................Starting the Pump ........................Monitor Relay Programming ....................Operating the Pump....................... Pump Shutdown ........................Power Failure ........................Remote Control Mode Operation ..................RS 232/422/485 Control Mode Operation ................ACCESSORIES AND SPARE PARTS ................... OPTIONS ............................
Page 7 I controller pilotano lasciar cedere il controller e a non sottoporlo ad urti. le pompe della serie Turbo-V 550 ICE (con un Non disperdere l’imballo nell’ambiente. II materiale è processo suddiviso in dieci passi) durante la fase di...
Page 8 ISTRUZIONI PER L’USO INSTALLAZIONE NOTA Il connettore di richiusura J1 deve essere lasciato collegato con il suo ponticello se non viene effettuato PERICOLO! alcun collegamento esterno. La pompa di pre-vuoto e pompa Turbo-V possono essere accese contemporaneamente. Il controller è fornito di un cavo di alimentazione a tre fili con una spina di tipo approvato a livello internazionale.
Page 9 MANUTENZIONE In alcuni casi di guasto la circuiteria di autodiagnosi del controller presenta alcuni messaggi di errore elencati I controller della serie Turbo-V 550 ICE non richiedono nella tabella riportata nella pagina seguente. alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.
Page 10 Se il messaggio si ripresenta rivolgersi alla spurio. Varian per la manutenzione. FLOW METER ALARM Allarme relativo al flusso di purge. Il Controllare il corretto funzionamento del valore del flusso è rimasto ad un valore circuito di alimentazione del gas.
Page 11 (nicht kondensierend) autorisierten Eingriffen Mißachtung einheimischen, hier Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei VOR DER INSTALLATION Haftung. Die Controller der Serie Turbo-V 550 ICE sind Controller wird einer speziellen mikroprozessorgesteuerte Frequenzwandler. Sie sind Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transport- mit Festkörperbauteilen gefertigt und verfügen über ein schäden...
Page 12 GEBRAUCHSANLEITUNG ANMERKUNG GEFAHR! Der Wiederverschließ-Verbinder J1 muß mit seiner Brücke angeschlossen bleiben, wenn kein externer Der Controller wird mit einem Netzkabel geliefert, das 3 Anschluß erfolgt. Die Vorvakuumpumpe und die Turbo- Drähte enthält und mit einem den internationalen V-Pumpe können gleichzeitig eingeschaltet werden. Normen entsprechenden Stecker ausgerüstet ist.
Page 13 Fronttafel gedrückt werden. FEHLERMELDUNGEN WARTUNG In einigen Störungsfällen zeigt das Selbstdiagnoses- Die Controller der Serie Turbo-V 550 ICE sind system des Controllers die in der nachstehenden wartungsfrei. Eventuell erforderliche Eingriffe müssen Tabelle zusammengefaßten Meldungen an. von dazu befugtem Fachpersonal ausgeführt werden.
Page 14 Die Taste START zweimal drücken, um die eine Störung aufgetreten oder der Pumpe wieder anzufahren. Kontroller hat ein unechtes Signal Falls die Meldung nochmals auftritt, die empfangen. Firma Varian zur Instandsetzung zu Rate ziehen. FLOW METER ALARM Alarm hinsichtlich Auswurffluß.
Page 15 Le contrôleur est fourni dans un emballage de protec- nationales spécifiques. tion spécial; si l'on constate des marques de dommages Les contrôleurs de la série Turbo-V 550 ICE sont des pouvant s'être produits pendant le transport, contacter convertisseurs de fréquence, contrôlés par un micropro- aussitôt le bureau de vente local.
Page 16 MODE D'EMPLOI INSTALLATION NOTE DANGER! Laisser le connecteur de réenclenchement J1 connecté à sa barrette s'il n'est procédé à aucune connexion exté- Les contrôleur est doté d'un câble d'alimentation à trois rieure. La pompe à pré-vide et la pompe Turbo-V peu- fils avec une fiche du type approuvé...
Page 17 MESSAGES D'ERREUR ENTRETIEN Dans certains cas de panne, l'ensemble de circuits Les contrôleurs de la série Turbo-V 550 ICE n'exigent d'autodiagnostic du contrôleur présente certains mes- aucun entretien. Toute opération doit être effectuée par sages d'erreur indiqués dans le tableau ci-dessous.
Page 18 Si le message est réaffiché vous adres- ser à la société Varian pour l’entretien. Alarme concernant le flux de purge. La Vérifier le bon fonctionnement du circuit FLOW METER ALARM valeur du flux est restée au dessous du...
Page 19 El controler se suministra en un embalaje de protección nacionales específicas. especial; si se observan señales de daños, que podrían Los controlers de la serie Turbo-V 550 ICE son haberse producido durante el transporte, ponerse en convertidores frecuencia, controlados contacto con la oficina de venta más cercana.
Page 20 INSTRUCCIONES DE USO INSTALACIÓN NOTA ¡PELIGRO! El conector di cierre J1 ha de dejarse conectado con su conector puente si no se efectúa ninguna conexión El controler va dotado de un cable de alimentación de exterior. La bomba pre-vacío y la bomba Turbo-V tres hilos con una clavija de tipo aprobado a nivel pueden encenderse simultáneamente.
Page 21 MANTENIMIENTO algunos casos avería circuitos Los controlers de la serie Turbo-V 550 ICE no necesitan autodiagnosis del controler presenta algunos mensajes ningún mantenimiento. Cualquier operación ha de ser de error detallados en la tabla siguiente. efectuada por personal autorizado. 87-900-903-01 (G)
Page 22 En caso el mensaje vuelva a aparecer, llamar a Varian para la manutención. FLOW METER ALARM Alarma concerniente flujo Controlar el correcto funcionamiento del limpieza (purge).
Page 23 Turbo-V 550 ICE (com um processo subdividido em dez a choques. passos) durante a fase de activação, controlando a Não depositar a embalagem no meio ambiente. O tensão e a corrente em relação à...
Page 24 INSTRUÇÕES PARA O USO INSTALAÇÃO NOTA PERIGO! O conector de fecho J1 deve permanecer ligado à sua ponte se não é efectuada nenhuma ligação externa. A O controller é fornecido com um cabo de alimentação bomba de pré-vácuo e a bomba Turbo-V podem ser de três fios com uma tomada de tipo aprovado a nível ligadas simultaneamente.
Page 25 STOP do painel frontal. específicas. MANUTENÇÃO MENSAGENS DE ERRO Os controllers da série Turbo-V 550 ICE não requerem Em alguns casos de defeitos, os circuitos de qualquer manutenção. Todas as operações devem ser autodiagnóstico do controller apresentam mensagens efectuadas por pessoal autorizado.
Page 26 Se a mensagem se reapresenta, dirigir- se à Varian para a manutenção. Alarme relativo ao fluxo de descarga. O Verificar se o circuito de alimentação do FLOW METER ALARM valor do fluxo permaneceu num valor gás funciona correctamente.
Page 27 • relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend) te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet...
Page 28 GEBRUIKSAANWIJZINGEN INSTALLATIE OPMERKING De connector J1 moet met zijn jumper aangesloten blijven als geen externe aansluiting tot stand wordt GEVAAR! gebracht. De pre-vacuümpomp en de Turbo-V pomp mogen beide gelijktijdig ingeschakeld zijn. De controller is voorzien van een voedingskabel met drie draden en een stekker van het internationaal goedgekeurde type.
Page 29 ONDERHOUD FOUTMELDINGEN De controllers van de serie Turbo-V 550 ICE zijn In geval van bepaalde storingen wekt het zelfdiagnose- onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door circuit van de controller enkele foutmeldingen op die in bevoegd personeel worden uitgevoerd.
Page 30 Als de melding weer verschijnt, zich voor ontvangen. onderhoud tot Varian wenden. FLOW METER ALARM Alarm betreffende de reinigingsstroom. Controleer gastoevoercircuit De stromingswaarde is gedurende 10 of correct functioneert.
Page 31 Varian, før udstyret anvendes. • temperatur: fra -20 °C til +70 °C Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som • relativ luftfugtighed: 0 - 95% følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig (ikke kondenserende) brug af personer uden tilstrækkelig kendskab, ukorrekt...
Page 32 BRUGSANVISNING INSTALLATION BEMÆRK ADVARSEL ! Afbryderkontakten J1 skal forblive tilsluttet med aktuel bro, når der ikke udføres eksterne tilslutninger. Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen skal fungere Styreenheden leveres med strømkabel med tre ledere samtidigt. og godkendt stik efter internationale standarder. Anvend udelukkende det medleverede strømkabel. Stikket må tilsluttes vægudtag fungerende...
Page 33 Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af INSTRUKTION Varians reparations-service eller Varian udvekslingsservice, hvor man kan få en repareret Start af styreenheden pumpe i bytte for den, der er gået i stykker. Styreenheden startes ved at sætte strømkablet i vægudtaget og sæt hovedafbryderen i stilling 1.
Page 34 Tryk to gange på START for at starte styreenheden har modtaget et ikke pumpen igen. korrekt signal. Såfremt meddelelsen fremvises på ny, rettes henvendelse Varian foretagelse af vedligeholdelse. FLOW METER ALARM Alarm for udluftningsventil. Værdien for Kontrollér, at kredsløbet til gasforsyning gennemstrømningen under fungerer korrekt.
Page 35 Varian före användning • temperatur: från -20 °C till +70 °C utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt • relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) eller delvis orsakats åsidosättande instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller...
Page 36 BRUKSANVISNING INSTALLATION OBSERVERA Stängningskontakten J1 måste lämnas ansluten med aktuell brygga om ingen extern anslutning utförs. Förvakuumpumpen och Turbo-V-pumpen kan fungera VARNING samtidigt. Styrenheten levereras med strömkabel med tre ledare godkänd stickpropp enligt internationella Kontroller, Indikatorer och Kontakter på standarder. Använd endast medlevererade...
Page 37 Bakre panel på Styrenheten 969-9434 och 969-9534 INSTRUKTIONER FÖR BRUK styrenheten havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta styrenheten med en renoverad styrenhet. Start av styrenheten Styrenheten startas enkelt genom att sätta strömkabeln i vägguttaget och sätt huvudströmbrytaren i läge 1. VARNING Start av pumpen Pumpen startas genom att trycka på...
Page 38 Ett fel har upptäckts i styrenhetens Tryck två gånger på knappen START för spänningsmatning eller styrenheten att starta om pumpen. har fått en falsk signal. Om meddelandet upprepas kontakta Varian för underhåll. FLOW METER ALARM Larm angående rengöringsflödet. Kontrollera korrekt funktion av gasens Värdet är...
Page 39 Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle Når styreenhetene transporteres eller lagres, må brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen følgende forhold være oppfylt: og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i • temperatur: fra 20 °C til +70 °C bruk.
Page 40 BRUKERVEILEDNING INSTALLASJON MERK Lukkekontakten J1 må være tilkoplet aktuell brygge ADVARSEL dersom det ikke skjer en annen ekstern tilkopling. Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen må fungere Styreenheten leveres med strømkabel med tre ledere og sammen. godkjent støpsel i henhold til internasjonale standarder. Bruk kun den vedlagte strømkabelen.
Page 41 BRUKERVEILEDNING Inngangskontakt for logiske signaler (tilkoplingskontakten leveres med spesiell lukkebrygge). Utgangskontakt for logiske signaler og kontroll av pumpens strøm og magnetiseringsfrekvens. Effektuttak (120 Vac, 1 A) for forsyningen av tileggsanordningene (vent device, primærpumpens aktiveringsrelè, osv.). Pumpens kabelkopling. Spenningsinngangsmodul for styreenheten. Modulen omfatter vernesikring, spenningsomkopler, uttak for spenningsmåling og EMC-filter.
Page 42 Trykk to ganger på knappen START for å forsyningsseksjon, eller styreenheten starte pumpen. har mottatt et falsk signal. Hvis meldingen dukker opp igjen, må du ta kontakt med Varian for vedlikehold. FLOW METER ALARM Alarm purgestrømningen. Kontroller at gassmatekretsen fungerer Strømningsverdien har i 10 sekunder...
Page 43 EU:n 85/399 käynnistysvaiheessa valvoen jännitettä ja sähkövirtaa direktiiviä ympäristön suojelusta. suhteessa pumpun saavuttamaan nopeuteen. Ne sisältävät kaikki virtapiirit, jotka ovat välttämättömiä Turbo-V 550 ICE - sarjan pumppujen automaattiselle toiminnalle. Apuliittimien kautta voidaan käyttää pumpun kauko-ohjattavia käynnistys- pysäytyslaitteita;...
Page 44 KÄYTTÖOHJEET ASENNUS HUOM VAARA! Sulkimen J1 liitin tulee jättää yhdyskaapelilla kytketyksi, mikäli ulkoisia kytkentöjä ei suoriteta. Esityhjiöpumppu Valvoja toimitetaan kolmijohtoisella sähkökaapelilla, Turbo-V-pumppu voidaan käynnistää jonka pistoke on kansainvälisesti hyväksytty. Käyttäkää samanaikaisesti. aina tätä kaapelia ja asettakaa pistoke riittävästi maadoitettuun pistorasiaan, jotta sähköiskuilta vältytään.
Page 45 Pumppu pysähtyy painettaessa etupaneelissa olevaa Mikäli valvoja täytyy romuttaa, toimikaa STOP-painonappia. hävittämisessä kansallisten säädösten ja normien määräämällä tavalla. HUOLTO Turbo-V 550 ICE -sarjan valvojia ei tarvitse huoltaa VIANETSINTÄ millään tavoin. Mahdolliset valvojaan tehtävät Joidenkin toimintahäiriöiden yhteydessä valvojan toimenpiteet tulee jättää aina valtuutetun henkilön itsemäärittelypiiri analysoi virheen, joka näkyy viesteinä,...
Page 46 KÄYTTÖOHJEET VIESTI VIKA KORJAUSTOIMENPITEET CHECK CONNECTION TO Toimintahäiriö pumpun valvojan Tarkistakaa, että pumpun ja valvojan liitännässä. välinen yhteyskaapeli on hyvin kiinnitetty PUMP päistään ja ettei siinä ole esteitä. Painakaa kaksi kertaa START- painonappia, jolloin pumppu käynnistyy. PUMP WAITlNG INTERLOCK Lukitussignaali (interlock) liittimessä P1 Palauttakaa liittimen J1 neulojen 3 ja 8 aktiivinen johtuen...
Page 47 • : -20 °C °C Varian • 0 - 95% Varian Turbo-V Turbo- 85/399 Turbo-V ICE. (heater jacket), purge valve). "Technical Information". Varian • 220 Vac • 120 Vac 87-900-903-01 (G)
Page 48 Turbo-V "Technical Information". • : 0 °C - + 40 °C • : 0 - 95 % HIGH/LOW SPEED HIGH "Technical Information". SPEED LOW SPEED START, STOP RESET " " cycle number, cycle time pump life pump current, pump temperature, pump power rotational speed, (Controller) 87-900-903-01 (G)
Page 49 (120 Vac, 1 A) (vent device, heater jacket. RS-232 - RS-422 - RS- 485 heater jacket. (flow meter). Varian "Varian advance exchange service" START STOP Turbo-V 550 ICE 87-900-903-01 (G)
Page 50 CHECK CONNECTION TO PUMP START PUMP WAITlNG INTERLOCK interlock interlock interlock FAULT: PUMP OVERTEMP. 60/80 °C START FAULT: CONTROLLER 90 °C OVERTEMPERATURE START FAULT: TOO HIGH LOAD START FAULT: SHORT CIRCUIT START OVERVOLTAGE START controller controller Varian FLOW METER ALARM 87-900-903-01 (G)
Page 51 (within steps) office. When unpacking the controller ensure that it is Turbo-V 550 ICE pump during the starting phase by not dropped or subjected to any form of impact. Do not controlling the voltage and current respect to the speed dispose of the packing materials in an unauthorized reached by the pump.
Page 52 INSTRUCTIONS FOR USE INSTALLATION NOTE WARNING! The input signal J1 connector should be left in position including the shipping links if no external connections The Turbo-V controller is equipped with a 3-wire power are made. The forepump and Turbo-V pump can be cord and plug (internationally approved) for user safety.
Page 53 ERROR MESSAGES MAINTENANCE For a certain type of failure, the controller will self- The Turbo-V 550 ICE series controller does not require diagnose the error and the messages described in the any maintenance. Any work performed on the controller following table are displayed.
Page 54 If the message is redisplayed, has received a spurious signal. contact Varian for maintenance. FLOW METER ALARM Alarm relating to the purge flow. The flow Check the correct operation of the gas value remained at less than the set supply circuit.
Page 55 TECHNICAL INFORMATION TURBO-V 550 ICE CONTROLLER DESCRIPTION • PCB including: power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor The controller is available in two versions: and digital section, display and keyboard circuits. The power supply converts the single phase (50-60 •...
Page 56 TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER SPECIFICATIONS Input: Voltage Frequency Power 1200 VA maximum Output for pump: Voltage 54 Vac nominal Frequency 700 Hz Power 420 W maximum water cooling 325 W air cooling 221 W Operating temperature 0°C to +40 °C Storage temperature -20°C to +70°C Fuse: •...
Page 57 TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER OUTLINE The outline dimensions for the Turbo-V 550 ICE controllers are shown in the following figures: Controller models 969-9434 and 969-9534 outline 87-900-903-01 (G)
Page 58 TECHNICAL INFORMATION FUSE HOLDER AND VOLTAGE CHANGER INTERCONNECTIONS ASSEMBLY The following figure shows the Controller inter- connections. The following figure shows the location of this assembly. Controller models 969-9434 Rear panel and 969-9534 interconnection Proceed as follows to replace one or both fuses: •...
Page 59 NOTE must shorted allow Turbo-V 550 ICE pump to start if no interlock contact is connected. If after starting the pump, the interlock +24 V + 24 contact opens, it has no effect on the operation and the pump continues to turn.
Page 60 TECHNICAL INFORMATION The 120 Vac, 1A maximum (independent of line Voltage) output Voltage is present when the main DESCRIPTION power switch is set to 1 position and after START push- 3-11 START S1 signal 24 V, 60 mA, optically button is pressed and will remain present until a fault ∗...
Page 61 A (3x6), which is not provided. CAUTION! • Insert the flat cable through the rear panel and plug Use this connector (J11) only with the Varian solid it into the socket P1 located on the Interface board. state flowmeter model 969-9114 or 969-9115. Any •...
Page 62 80 hex (for RS 232 and 422 only). Receive data line (pin 2) and vice versa. Consult the host computer's instruction manual for its serial port RS 485 Communication Description connections NOTE Varian cannot guarantee compliance with regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shroud on the O-subconnector.
Page 63 TECHNICAL INFORMATION where: EXAMPLES: Command : START <STX>= 0x02 Source : PC Destination : Inverter <ADDR> = 0x80 (for RS 232 and RS 422 only) <ADDR> = 0x80 + device number (0...31) ADDR WINDOW 0xFF: brodcasting command (recognized by all the devices, it Source : Inverter doesn’t implicate any answer)
Page 64 TECHNICAL INFORMATION Command : LOW SPEED (ON) Command : FREQUENCY Source : PC Source : PC Destination : Inverter Destination : Inverter ADDR WINDOW ADDR WINDOW Source : Inverter Source : Inverter Destination : PC Destination : PC 32 30 33 30 30 30 30 30 34 32 03 38 34 ADDR STX ADD WINDOW RD 000042...
Page 65 TECHNICAL INFORMATION Window-Based Protocol The following table, valid for the RS 232, RS 422 and RS 485 interfaces, describes each single window used in the protocol. R W T Description X X L START/STOP X X L SPEED SELECTION ACTIVE [0=HS / 1=LS] X X L SOFT START [0=NO / 1=YES] X X L WATER COOLING [0=NO / 1=YES] X X N MODE (0, 1, 2) [FRONT, REMOTE, SERIAL]...
Page 66 The forepump and the Turbo-V ICE pump can be switched on at the same time. NOTE NOTE When the Turbo-V 550 ICE pump is baked by a membrane pump, the Soft Start mode should be After pressing the START push-button, if the P1 deselected.
Page 67 TECHNICAL INFORMATION • • Press the PUMP CURRENT push-button and the Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows (e.g.): display shows When there is only one temperature sensor L A S T A L A R M : X X X X X T = X X X X X h C = X X X X X...
Page 68 TECHNICAL INFORMATION The display shows: • Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows C O N F I G U R A T I P U R G E F L O W S E T : X X X S C C M S O F T W A R E V E R S I Q E X X X X X X X X X...
Page 69 TECHNICAL INFORMATION • • Press the PUMP CURRENT push-button and the Press PUMP CURRENT push-button and the display display shows shows: L O W E R B E A R I W A T E R C O O L I S E N S O R : O F F Detection of the pump’s lower bearing temperature.
Page 70 TECHNICAL INFORMATION • • Choose the desired selection by pressing the CYCLE Press the PUMP CURRENT push-button to enter push-button. the value and ,if the serial option is installed, the display shows: F R O N T R E M O T E S E R R S X X X S E L E C T...
Page 71 TECHNICAL INFORMATION With the RS 232/422/485 connected, a bi-directional • Press PUMP CURRENT to confirm. and the display communication is established by selecting HOST. Data are shows: sent to an external computer every time the external computer asks for the values. P U M P X X X X X h The available data are listed in the read mode in the serial...
Page 72 TECHNICAL INFORMATION As the ten steps are fully covered, the pump will reach the NOTE Normal operation. If during the Soft Start mode the power drawn by the pump exceed 200 W the speed of the pump When PUMP LIFE is reset to 000, the CYCLE number is decreased to maintain the maximum power allowable is also reset to 000.
Page 73 TECHNICAL INFORMATION Monitor Relay Programming Pump Shutdown Press the front panel STOP push-button or remove the • remote signal; the power from the turbopump will be The display shows: removed and the pump will begin to slow down. T H R E S H O L D Power Failure S E T T N G ;...
Page 74 TECHNICAL INFORMATION If the Soft Start has been deselected the display shows: P U M P R E A D Y U S E P U M P R E A D Y U S E R S 2 3 2 R E M O T E S T A R T If the Soft Start has been deselected the display shows:...
Page 75 TECHNICAL INFORMATION MAINTENANCE 87-900-903-01 (G)
Page 76 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Page 77 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
Page 78 Tel: (39) 011 997 9111 Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Brazil Fax: (39) 011 997 9350 Varian Industria e Comercio Ltda. Japan Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Internet Users: Varian Vacuum Technologies Vila Olimpia Customer Service &...

Ce manuel est également adapté pour:

969-9434 969-9534