Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum PRISMAPLUS QMG 220
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum PRISMAPLUS QMG 220
- Page 1 MANUEL DE L’UTILISATEUR Traduction du manuel de l‘utilisateur ® PRISMAPLUS QMG 220™ Système de spectrométrie de masse compact...
- Page 2 INFICON AG. Avertissement Les informations contenues dans ce manuel sont supposées être exactes et fiables. Pfeiffer Vacuum n’assume cependant aucune responsabilité pour leur utilisation et ne pourrait être tenu responsable de tout dommage spécial, directement ou indirectement lié...
- Page 3 Table des matières Table des matières Marque déposée........... . . 2 Avertissement .
- Page 4 Introduction Introduction Identification du produit Dans toutes les communications avec Pfeiffer Vacuum, veuillez spécifier les informations figurant sur la plaque signalétique du produit. Pour plus de commodité, copiez ces informations système de référence dans les espaces prévus à cet effet.
- Page 5 Introduction Validité Ce document s’applique aux produits dont les références sont répertoriées. Analyseurs (tous les analyseurs de type QMA 200) Détecteur Filaments Données techniques supplémentaires Orifice Iridium, Fils en d’extraction Référence Faraday C-SEM Tungstène yttrié Fermé molybdène 300 °C 2 mm Remarques PT M25 250 ■...
- Page 6 Introduction IO 220 PT M28 699 Module E/S IO 220 complet. QME 220 Référence Plage de masse Connexion de IO 220 l’analyseur PT M28 601 1 … 100 droit sans PT M28 602 1 … 200 droit sans PT M28 603 1 …...
- Page 7 Communiquez les instructions de sécurité à tous les autres utilisateurs. Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité et la garantie est nulle et non avenue si l'utilisateur final ou des parties tierces : ignorent les informations figurant dans ce document, ...
- Page 8 Jauge à vide Secteur AVIS Dans toutes les communications avec Pfeiffer Vacuum, veuillez spécifier les informations figurant sur la plaque signalétique. Pour plus de commodité, copiez les informations de référence de tous les ensembles sur les reproductions de plaque signalétique dans ce manuel.
- Page 9 Données techniques Appareil électronique QME 220 Appareil électronique QME 220 avec connexion 90° Module d’entrée/ sortie IO 220 (en option) Analyseur QMA 200 F, détecteur Faraday Analyseur QMA 200 M, multiplicateur d’électrons secondaires (C-SEM)
- Page 10 Données techniques Alimentation électrique SP 220 Câble secteur ® Logiciel QUADERA ® Aide en ligne du logiciel QUADERA (CD-ROM).
- Page 11 Données techniques Données système Éléments du panneau avant QME 220 VACUUM VACUUM VACUUM GAUGE 24V= 24V= Panneau avant QME 220 sans Panneau avant QME 220 avec module module IO 220 IO 220 installé Élément du panneau avant Description Connecteurs < 24 V= > Connecteur pour QME 220- p.
- Page 12 Données techniques QMG 220 F, détecteur Faraday Données générales Type de détecteur Faraday Résolution de l’appareil (vallée, plage de masse totale) <10 à 10 % de hauteur de pic, réglable 0,5 … 2,5 Pression de fonctionnement max. mbar 1×10 Reproductibilité du rapport de pic (conditions constantes pendant 8 h, N ±0,5 et Ar de l’air)
- Page 13 Données techniques Source d’ions à faisceau croisé Principe de conception, Conception ouverte, adaptée pour les expériences de faisceaux champ d’application moléculaires, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène), dégazage par bombardement d’électrons (10 mA, 300 V) Plage de masse 1 … 100 1 …...
- Page 14 Données techniques Source d’ions HS (Source d’ions Principe de conception, Conception ouverte, symétrie radiale, adaptée pour l’analyse de haute sensibilité) champ d’application gaz résiduel, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène), dégazage par bombardement d’électrons (10 mA, 300 V) Plage de masse 1 …...
- Page 15 Données techniques QME 220 Système de mesure Canaux de mesure Modes de mesure Balayage analogique, balayage de diagramme à barres, MID Cycles de mesure cycles mono- / multicanal 1 … 9999 ou répétition MID-temps d’arrêt 2 ms … 60 s Vitesse de mesure pic balayage analogique + 20 ms/u …...
- Page 16 Données techniques Module d’entrée/ sortie IO 220 Entrées analogiques Connecteur (<ANALOG I/O>) X7, connecteur D-Sub 15 broches (femelle) Nombre de canaux Configuration de l’entrée différentielle Plage de tensions en entrée nominale 10 V, max. 14 V réf. à la terre Résistance en entrée 50 kΩ...
- Page 17 Données techniques Sorties numériques Connecteur (<DIGITAL I/O>) X2, connecteur Sub-D 25 broches (mâle) Nombre de canaux Configuration de la sortie collecteur ouvert (écoulement), isolé optiquement Tension en sortie nominale +24 V, max. +28 V Tension de saturation (basse) +0,9 V Courant en sortie (écoulement) Les 16 canaux sont utilisés : 60 mA/canal...
- Page 18 Données techniques Dimensions [mm] Appareil électronique (60) QME 220 + Analyseur QMA 200 F avec détecteur Faraday DN 40 CF-F Appareil électronique (60) QME 220 + Analyseur QMA 200 M avec détecteur C-SEM + Faraday DN 40 CF-F Appareil électronique QME 220 90°+ (60) Analyseur...
- Page 19 Données techniques Appareil électronique QME 220 90°+ (60) Analyseur QMA 200 M avec détecteur C-SEM DN 40 CF-F ø37 Appareil électronique (55) QME 220 + module d’entrée/sortie IO 220 (X2) Alimentation électrique SP 220...
- Page 20 Installation Installation Déballage AVIS Rangez les dispositifs d’attache pour le transport et remettez-les en place avant de transporter à nouveau le produit. DANGER La mise en marche d’un produit présentant des dommages visibles peut être extrêmement dangereuse. Si le produit présente des dommages visibles, ne le mettez pas en marche et veillez à...
- Page 21 Installation Exigences en matière d’espace AVERTISSEMENT Le QMA 200 F ne peut être installé que dans les brides ou tubes dont le diamètre interne est 37 mm. Dans le cas contraire, des courts-circuits peuvent se produire contre la paroi. Le diamètre du tube de rallonge pour le QMA 200 M doit être d’au moins 40,5 mm. AVIS Veuillez noter la profondeur d’installation requise.
- Page 22 Installation Retrait de la cale de transport et bridage de QMA 200 M QMA 200 F l’analyseur à la chambre à vide Cale de transport Rainure de guidage Outil de montage 1 Placez le QMA 200 dans l’outil de montage fourni. 2 Retirez soigneusement le capot de transport du QMA 200 et rangez-le pour une réutilisation éventuelle.
- Page 23 Installation Installation du QME 220 DANGER Le QME 220 ne peut être monté que sur un QMA 200 correctement installé car la seule connexion à la terre s’effectue via la bride du QMA 200. La ligne d’alimentation 24 V de la SP 220 ne doit jamais être connectée si le QMA 200 n’est pas vissé...
- Page 24 Installation Installation/désinstallation du module d’entrée/sortie IO 220 Le module E/S IO 220 en option permet d’utiliser des interfaces supplémentaires. Le QME 220 peut être commandé avec le module IO 220 déjà installé ou être mis à niveau ultérieurement. Outil requis Tournevis Torx T10 Module E/S IO 220 Matériel requis...
- Page 25 Installation 7 Vissez les trois vis Torx M340 mm fournies avec le module IO 220. 8 Réinstallez le QME 220 retiré en suivant la procédure écrite ci-dessus et continuez avec le chapitre ’Connexions électriques’, p. Les étapes 1 … 3 sont identiques à celles de la section Procédure, installation. Procédure, désinstallation 1 Déconnectez l’alimentation de la prise secteur et débranchez toutes les connexions électriques au QME 220.
- Page 26 Installation 5 Retirez soigneusement le module IO 220 du panneau avant du QME 220 en utilisant vos deux mains. 6 Fixez les trois vis dans le module IO 220 avec les écrous de transport M3. 7 Insérez et vissez les petites vis Torx 1 … 3. 8 Réinstallez le QME 220 en suivant la procédure décrite ci-dessus et continuez avec le chapitre ’Connexions électriques’, p.
- Page 27 Installation Connexions électriques Connexion du QME 220 AVERTISSEMENT Toutes les connexions électriques doivent être dotées d’un collier de serrage des câbles. Acheminez les câbles à l’écart des sources d'interférences électromagnétiques. AVERTISSEMENT Pour des raisons de compatibilité électromagnétique (interférences externes), il est vivement recommandé...
- Page 28 Installation Connexion au PC Étant donné que le QMG 220 ne dispose pas d’un panneau de commande local, il est exploité via une interface PC ou en tant que périphérique dans un réseau. Il existe plusieurs manières de connecter un QME 220 et un PC: Interface Ethernet Pour une liaison directe entre un QME 220 et un PC, le câble de connexion croisé...
- Page 29 Installation Témoins de connexion L’état de l’interface est signalé par deux DEL intégrées au connecteur RJ45. État Signification vert allumé taux de transfert des données 100 Mbit/s RJ45 sombre taux de transfert des données 100 Mbit/s vert jaune jaune allumé transfert de (clignotant) données en cours...
- Page 30 Installation Affectation des broches X3 N° broche Description Bus IO 220 Bus IO 220 Bus IO 220 PROTECTION_EXTERNE Bus IO 220 Bus IO 220 Bus IO 220 0 V, référence à la terre Bus IO 220 Les broches marquées « Bus IO 220 » sont exclusivement réservées à l’échange de données entre le QME 220 et le module IO 220.
- Page 31 Installation 1 Ouvrez le connecteur Sub-D. Procédure 2 Préparez les extrémités du câble et soudez/sertissez le câble conformément au schéma ci-dessous. Schéma de connexion X7 Canal 1 IO 220 1 k Ω – 1 k Ω 1 nF 1 nF –...
- Page 32 Installation Affectation des broches X7 N° broche Description entrée analogique, canal 1 (–) entrée analogique, canal 2 (–) entrée analogique, canal 3 (–) entrée analogique, canal 4 (–) entrée analogique, canal 5 (–) sortie analogique, canal 1 sortie analogique, canal 2 référence à...
- Page 33 Installation 1 Ouvrez le connecteur Sub-D. Procédure 2 Préparez les extrémités du câble et soudez/sertissez le câble conformément au schéma ci-dessous. Schéma de connexion des entrées numériques (X2) IO 220 +24 V Canal 1 Canal 2 Canal 3 Canal 4 –...
- Page 34 Installation Affectation des broches X2 N° broche Description sortie numérique, canal 1 sortie numérique, canal 2 sortie numérique, canal 3 sortie numérique, canal 4 sortie numérique, canal 5 sortie numérique, canal 6 sortie numérique, canal 7 sortie numérique, canal 8 référence à...
- Page 35 Installation Connexion des Les jauges suivantes peuvent être connectées au système à condition que le module IO 220 soit installé. jauges à vide Type de Alimentation jauge Interface Connecteur Dégazage électrique PKR251/261 analogique X5, <TP GAUGE>, 6 broches interne PBR260 analogique X5, <TP GAUGE>, 6 broches SP 220...
- Page 36 Installation Connexion de Certaines jauges ont des besoins électriques élevés qui ne peuvent être satisfaits par l’alimentation QME 220 principale (SP 220 (1)). Dans cette situation, une seconde l’alimentation SP 220 (SP 220 (2)) est requise. électrique supplémentaire AVERTISSEMENT Ne connectez pas les câbles secteur des deux alimentations SP 220 à la prise secteur pour le moment.
- Page 37 Installation Utilisation des interfaces analogique VACUUM et numérique VACUUM Digital I/O (X2) Analog I/O (X7) GAUGE 24V= Entrées Sorties Entrées Sorties analogiques analogiques numériques numériques Lecture des Valeurs de Contrôle Points de valeurs de mesure, logiciel, commutation mesure, p.
- Page 38 Fonctionnement Fonctionnement Premier démarrage DANGER DANGER : Produits de nettoyage. Les produits de nettoyage peuvent être nocifs pour la santé et l'environnement. Respectez les règlements correspondants et prenez les précautions nécessaires lorsque vous manipulez les produits de nettoyage et que vous les mettez au rebut. Pensez aux réactions éventuelles avec les matériaux du produit.
- Page 39 Fonctionnement Mise sous tension Une fois les vérifications ci-dessus effectuées, le système peut être mis sous tension. AVERTISSEMENT Vous pouvez uniquement activer et désactiver le QME 220 en branchant et en débranchant la prise d’alimentation de la SP 220. Le connecteur 24 VCC de la SP 220 doit toujours rester connecté...
- Page 40 Maintenance Maintenance QMA 200 (Remplacement des filaments) ATTENTION Les filaments sont fournis sous forme d’unités préassemblées. Ils ne doivent être changés que par du personnel qualifié. Source d’ions HS Clé plate AF 10 Outils requis Pince à bec plat ...
- Page 41 Maintenance 8 Mettez au rebut le kit filament usagé. 9 Retirez le kit filament de remplacement de sa boîte de transport. AVERTISSEMENT Ne touchez pas le filament, même si vous portez des gants. 10 Montez le filament de remplacement sur la source d’ions. Faites glisser le kit filament vers les vis de pression de sorte que la plaque du kit filament soit parallèle à...
- Page 42 Maintenance 1 Débranchez toutes les connexions électriques du QME 220. 2 Séparez le QME 220 de l’analyseur en répétant les étapes décrites au ’Installation du QME 220’, p. 23 dans l’ordre inverse. 3 Retirez l’analyseur de la chambre à vide. 4 Placez l’analyseur dans l’outil de montage fourni.
- Page 43 Maintenance Source d’ions à faisceau croisé Outils requis Clé plate AF 10 Pince à bec plat Tournevis taille 0 Clé à douille spéciale AF 3/3,2 Kit filament de remplacement Matériel requis Procédure Outil de montage 1 Débranchez toutes les connexions électriques du QME 220. 2 Séparez le QME 220 de l’analyseur en répétant les étapes décrites au ’Installation du QME 220’, p.
- Page 44 Maintenance 2 kits filament de remplacement AVERTISSEMENT Ne touchez pas le filament, même si vous portez des gants. 10 Placez soigneusement le nouveau kit filament sur la source d’ions. 11 Assurez-vous que le manchon en céramique et la rondelle rectangulaire sont correctement positionnés et serrez l’écrou de maintien.
- Page 45 Maintenance Source d’ions à grille Outils requis Petite pince Tournevis taille 0 Filament de remplacement Matériel requis Procédure Outil de montage 1 Débranchez toutes les connexions électriques du QME 220. 2 Séparez le QME 220 de l’analyseur en répétant les étapes décrites au ’Installation du QME 220’, p.
- Page 46 Maintenance AVIS Les trous des pattes de connexion doivent être exactement alignés au-dessus des entailles. ATTENTION Ne pliez pas le filament. 10 Poussez les boucles des câbles d’alimentation au-dessus des entailles en veillant à ne pas déplacer les pattes de connexion du filament. 11 Mettez les 3 vis en place et serrez-les soigneusement.
- Page 47 Maintenance QME 220 Nettoyage AVERTISSEMENT N'oubliez pas de procéder au nettoyage, même si l’appareil est installé de telle sorte que la contamination est peu visible. AVIS Aucun liquide ne doit couler dans l’appareil. N’utilisez pas l’appareil avant qu’il ne soit complètement sec.
- Page 48 Maintenance 4 Desserrez les vis 1 … 4 et retirez le panneau avant. 5 Remplacez la natte filtrante. AVIS Mettez l’ancienne natte filtrante au rebut. Si elle est contaminée, respectez le règlement en vigueur (’Mise au rebut’, p. 56). … 4 en suivant les étapes dans l’ordre inverse). 6 Réassemblez le produit (étapes 1 Réglage du Le circuit RF doit être réglé: lors de la première mise en service de l'appareil, lors d'un...
- Page 49 Maintenance AVIS Serrez soigneusement ; aucune force n’est requise. Ne serrez pas complètement la vis de réglage et ne l’enlevez pas complètement. Optimisation de la La sensibilité de la source d’ions doit être optimisée lors de la première mise en service de l’appareil ou après un changement de filament.
- Page 50 Accessoires Accessoires Référence de commande Clé à douille spéciale AF 3/3,2 BK 370 096 Kit de vis (25 pièces) PF 505 001 -T Joint en cuivre DN 40 CF (10 pièces) PF 501 404 -T Outil de montage QMA 200 BG 444 456 Câble de connexion torsadé...
- Page 51 Options Options Référence de commande Module E/S IO 220 complet PT M28 699...
- Page 52 Pièces de rechange Pièces de rechange Lors de la commande de pièces de rechange, indiquez toujours : toutes les informations figurant sur la plaque signalétique du produit, la description et la référence de commande mentionnées sur la liste des pièces ...
- Page 53 Stockage Stockage ATTENTION Attention : Composant électronique. Un stockage inapproprié (électricité statique, humidité, etc.) peut endommager les composants électroniques. Stockez le produit dans un sac ou un contenant antistatique. Respectez les caractéristiques correspondantes dans les Données techniques.
- Page 54 Les produits contaminés (p. ex., radioactifs, toxiques, caustiques ou présentant un risque biologique) peuvent être nocifs pour la santé et l'environnement. Les produits retournés à Pfeiffer Vacuum doivent de préférence être dépourvus de substances nuisibles. Respectez tous les règlements liés au transfert des pays impliqués et entreprises de transfert et joignez à...
- Page 55 2 Remplissez le formulaire « Service Request » (Demande de service) et envoyez-le par télécopie ou par e-mail à votre adresse de service. 3 Incluez la confirmation de la demande de services provenant de Pfeiffer Vacuum avec votre expédition. 4 Remplissez la Déclaration de contamination et incluez-la avec l'expédition (obligatoire !).
- Page 56 Mise au rebut Mise au rebut DANGER DANGER : Pièces contaminées. Les pièces contaminées peuvent être nocives pour la santé et l'environnement. Avant de commencer le travail, déterminez si des pièces sont contaminées. Respectez les règlements en vigueur et prenez les précautions nécessaires lors de la manipulation des pièces contaminées.
- Page 57 Normes harmonisées et normes nationales appliquées: EN 61010-1:2010 EN 61326-1:2013 CISPR 11 group 1, class A FCC, title 47 CFR, part 18, class A RoHS: Entièrement conforme Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Asslar, 2022-02-01 Directeur général...
- Page 58 UN SEUL FOURNISSEUR DE SOLUTIONS DE VIDE Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service. UNE LARGE GAMME DE PRODUITS Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits.