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Fonctionnement
5
Fonctionnement
5.1
Premier démarrage
5.2
Avant le démarrage
38
DANGER : Produits de nettoyage.
Les produits de nettoyage peuvent être nocifs pour la santé et l'environnement.
Respectez les règlements correspondants et prenez les précautions nécessaires
lorsque vous manipulez les produits de nettoyage et que vous les mettez au rebut.
Pensez aux réactions éventuelles avec les matériaux du produit.
Vérifiez la bonne installation de tous les composants système et la conformité avec les
données techniques avant de mettre l'équipement sous tension.
Avant de démarrer le système, vérifiez les éléments suivants :
Le câble secteur de la SP 220 n'est pas connecté au secteur
Installation correcte de tous les composants système et modules
Bon état de la chambre à vide/de procédé
Câblage correct des composants système
Installation d'une liaison LAN-PC directe ou via le réseau
PC prêt à être utilisé
Consultez les instructions d'utilisation de tous les composants système impliqués avant
de démarrer le système.
Dans le cas de systèmes complets (configurés en usine), les réglages et paramètres
ont été alignés de manière optimale. Ne les modifiez pas sans raison.
DANGER : Tension d'alimentation.
Les produits mis à la terre de manière incorrecte peuvent être extrêmement dangereux
en cas de défaillance.
Le connecteur d'alimentation ne peut être branché qu'à une prise munie d'une
protection à la terre. La protection ne doit pas être annulée par l'utilisation d'une
rallonge sans protection à la terre
Vérifiez le vide dans le QMA 200 avant d'insérer la prise électrique de la SP 200.
Conditions de vide requises :
-4
<10
mbar avec un détecteur de type Faraday
-5
<10
mbar avec un connecteur de type C-SEM
Si vous utilisez la tête de jauge compacte connectée au QME 220 (IO 220), la prise
d'alimentation peut être insérée sans que vous deviez vérifier les conditions de vide.
Toutefois, n'activez pas l'émission et la tension du C-SEM avant que les limites supérieures
n'aient été atteintes. Activez la surveillance PROT_EXT.
DANGER
DANGER
AVIS
DANGER
AVERTISSEMENT
(Mise au rebut p.
56.)
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