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Données techniques
Source d'ions HS
(Source d'ions
haute sensibilité)
Source d'ions HS fermée
Source d'ions
à faisceau croisé
Source d'ions à grille
14
Principe de conception,
champ d'application
Plage de masse
Pression partielle minimum détectable
Sensibilité à l'argon
Contribution à la masse environnante
(40/41)
Principe de conception,
champ d'application
Plage de masse
Conductance
Pression partielle minimum détectable
Contribution à la masse environnante
(40/41)
1)
Pour les composants qui ne se chevauchent pas avec une masse > 4 u.
Principe de conception,
champ d'application
Plage de masse
Pression partielle minimum détectable
Sensibilité
Contribution à la masse environnante
(40/41)
Principe de conception,
champ d'application
Plage de masse
Pression partielle minimum détectable
Sensibilité
Contribution à la masse environnante
(40/41)
Conception ouverte, symétrie radiale, adaptée pour l'analyse de
gaz résiduel, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène), dégazage
par bombardement d'électrons (10 mA, 300 V)
u
mbar
<1×10
A/mbar
ppm
Conception fermée, adaptée à une analyse de gaz quantitative,
suppression efficace des composants de gaz résiduel,
2 filaments (iridium yttrié ou tungstène)
u
l/s
1)
ppm
ppm
Conception ouverte, adaptée pour les expériences de faisceaux
moléculaires, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène), dégazage
par bombardement d'électrons (10 mA, 300 V)
u
mbar
3×10
A/mbar
ppm
Conception ouverte, adaptée pour l'analyse de gaz résiduel
ultra-haute tension, 2 filaments (tungstène), dégazage par
bombardement d'électrons (10 mA, 300 V)
u
mbar
1×10
A/mbar
ppm
1 ... 100
1 ... 200
-14
-14
/
<1×10
/
-12
-11
5×10
1×10
>200 /
>200 /
-4
-4
>5×10
>3×10
<10
<20
1 ... 100
1 ... 200
1
1
<1 / 20
<1 / 40
<10
<20
1 ... 100
1 ... 200
-13
-13
/
6×10
/
-11
-12
5×10
1×10
100 /
100 /
-5
-5
2×10
1×10
<10
<20
1 ... 100
1 ... 200
-13
-13
/
2×10
/
-11
-11
1×10
2×10
200 /
200 /
-4
-5
1×10
5×10
<50
<100
1 ... 300
-14
<2×10
/
-11
2×10
>100 /
-4
>1.5×10
<50
1 ... 300
1
<1 / 100
<50
1 ... 300
-12
1.2×10
/
-12
2.5×10
50 /
-6
7×10
<50
1 ... 300
-13
4×10
/
-11
4×10
100 /
-5
3×10
<200
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