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Pfeiffer Vacuum PRISMAPLUS QMG 220 Manuel De L'utilisateur page 13

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Source d'ions
à faisceau croisé
Source d'ions à grille
QMG 220 M
(détecteur C-SEM)
Données générales
Principe de conception,
champ d'application
Plage de masse
Pression partielle minimum détectable
Sensibilité
Contribution à la masse environnante
(40/41)
Principe de conception,
champ d'application
Plage de masse
Pression partielle minimum détectable
Sensibilité
Contribution à la masse environnante
(40/41)
Type de détecteur
Résolution de l'appareil (vallée, plage de
masse totale)
à 10 % de hauteur de pic, réglable
Pression de fonctionnement max.
Reproductibilité du rapport de pic
(conditions constantes pendant 8 h, N
et Ar de l'air)
Température de fonctionnement du
QMA 200
Température d'étuvage
(QME 220 retiré)
Orientation du montage
Poids
Bride de connexion
Conception ouverte, adaptée pour les expériences de faisceaux
moléculaires, 2 filaments (iridium yttrié ou tungstène), dégazage
par bombardement d'électrons (10 mA, 300 V)
u
mbar
A/mbar
ppm
Conception ouverte, adaptée pour l'analyse de gaz résiduel
ultra-haute tension, 2 filaments (tungstène), dégazage par
bombardement d'électrons (10 mA, 300 V)
u
mbar
A/mbar
ppm
%
u
mbar
2
%
°C
°C
kg
Données techniques
1 ... 100
1 ... 200
-11
-11
3×10
6×10
-5
-5
4×10
2×10
<10
<20
1 ... 100
1 ... 200
-12
-12
5×10
2×10
-4
-4
2×10
1×10
<50
<100
C-SEM / Faraday
<10
0,5 ... 2,5
-4
1×10
±0.5
0 ... +150
max. +200
n'importe laquelle
(p.
3,8 (4,1 avec connexion 90°)
DN 40 CF
1 ... 300
-10
1.2×10
-5
1×10
<50
1 ... 300
-12
1×10
-5
5×10
<200
21)
13

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