Table des Matières
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'entraînement dans le vide
Spécialement conçu pour une faible génération de particules,
une faible fuite et un dégazage réduit.
Fuite:
1
Utilisation d'un vérin
sans tige avec
accouplement
magnétique sans
débit d'air provenant
des parties mobiles.
Dégazage réduit
Réduction du dégazage due
1
au traitement de surface
Toutes les pièces externes,
(fabriquées en alliage d'aluminium)
telles que le corps et la table linéaire
sont nickelées.
De plus, les aimants externes sont
revêtus en nitrure de titane.
Note 1) Contactez SMC si d'autres traitements
de surface sont requis.
Faible fuite
1,3 x 10 - ⁷ Pa⋅m ³ /sec
1,3 x 10 - ⁷ Pa⋅m ³ /sec
- ⁷
10
- ⁸
10
- ⁹
10
- ¹⁰
10
0
2
Note 1) Le diagramme ci-dessus montre le résultat du
test de fuite basé sur cette construction de vérin.
Note 2) Dans le but de régler la course, des joints tori-
ques sont installés afin de séparer le vide et
l'atmosphère. Contactez SMC si la méthode de
séparation doit être modifiée.
Matières en résine
2
éliminées
Le marquage par laser est employé
pour la désignation du modèle
Marquage par laser
(à des températures normales, sans infiltration de gaz)
Valeur standard
Résultat du test
de fuites
5
Temps [min]
Les joints toriques séparent le vide et l'atmosphère.
Joints toriques statiques utilisés
entre le vide et l'atmosphère.
-4
(1,3 x 10
Pa ou 1x10
ou moins
Note 1) Ces donnés indiquent les fuites cal-
culées dans un milieu à vide de 10 -
⁵ Pa.
Note 2) Le résultat du test de fuites est basé
sur un test mené pendant 10 minu-
tes une fois que le vérin a été pres-
surisé avec de l'hélium à 0.1 MPa.
Note 3) Ces donnés servent de référence et
ne sont pas garanties.
10
Joint torique
Réglages en fin de course
Réglages entre –2 et 0mm possibles
sur un côté (de –4 à 0mm sur les deux
côtés).
Clé hexagonale
-6
Torr)
ZX
ZR
ZM
ZY
ZH
ZU
ZL
ZF
ZP
ZCU
CYV
Composants
du vide
3.11-3
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