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INFICON
6.11 Afficher le diagramme du vide
6.12 Rétablir les paramètres d'usine
UL3000-Fab-ULTRA-Notice-d'utilisation-iinb73fr1-08-(2101)
Pour contrôler le fonctionnement et l'état de service du système de mesure d'un seul
coup d'œil, consultez la représentation simplifiée su schéma du vide.
►
> Diagramme du vide
1
MS
10
V8
9
p2
V2a
8
Fig. 13: Les composants les plus importants du diagramme de vide dans les instruments
UL3000 Fab
1 Spectromètre de masse
2 Fuite calibrée interne
3 Bride d'entrée
4 Point de mesure de la
pression d'entrée
5 V1 ... V10 : électrovanne pour
la commande des flux de gaz
Vous pouvez rétablir les paramètres d'usine de l'instrument.
2
TL
V7
V4c
V4b
V4a
V2b
V9
p4
V10
7
6 Cordon du renifleur
7 Point de mesure de la pression pour le
contrôle de flux
8 Pompe primaire
9 Point de mesure de la pression à pré-vide
10 Pompe turbomoléculaire
Fonctionnement | 6
3
p1
V3
V1
V1a
V5
6
95 / 152
4
5
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