Edwards TIC 6 Mode D'emploi page 36

D39701883 Version H
Remarque : En cas de remplacement du capteur Pirani (consulter le mode d'emploi de la jauge WRG D14701885),
il est possible qu'au début, il n'indique pas les pressions inférieures à 1 x 10
Dans ce cas, un étalonnage manuel du vide est nécessaire.
Pomper jusqu'à 1 x 10
conformément aux instructions du mode d'emploi.
Les jauges WRG disposent d'une fonction intégrée de contrôle des erreurs. (Se reporter au
Tableau 23 - Contrôle des erreurs/messages de diagnostic des jauges WRG
Messages de diagnostic
Over Range
Not Struck
Striker Fail
Mag Fail
Filament Fail
Under Range
Figure 22 - Écran de configuration des jauges WRG
-5 -6
mbar (7,5 x 10 Torr) ou moins avant d'effectuer l'opération d'étalonnage
Description
(Sortie de jauge > 10,6 V)
Indique une défaillance au niveau de la jauge. Dans ce cas, la remplacer.
(Sortie de jauge = 1,3 V)
Indique l'échec d'amorçage de la partie magnétron de la jauge.
Vérifier si le tube de jauge présente des signes de contamination ou s'il contient des
débris. Si l'anode et la cathode ne sont pas brillantes, nettoyer la jauge
conformément aux instructions du mode d'emploi de la jauge WRG.
(Sortie de jauge = 1,2 V)
Indique que le filament du système d'amorçage est brisé.
Remplacer l'ensemble électrode (D14701802) conformément aux instructions du mode
d'emploi de la jauge WRG.
(Sortie de jauge = 1,1 V)
Indique le court-circuit de la partie magnétron de la jauge. Cette erreur est peut-être
due à la contamination ou un corps étranger. Nettoyer la WRG conformément aux
instructions du mode d'emploi.
Si cette mesure ne permet pas de résoudre le problème, procéder à l'entretien de la
jauge WRG et remplacer l'ensemble électrode (D14701802) conformément aux
instructions du mode d'emploi.
(Sortie de jauge = 1 V)
Indique une défaillance de l'élément Pirani de la jauge. La cause la plus probable est
un filament brisé. Procéder à l'entretien de la WRG conformément aux instructions du
mode d'emploi.
(Sortie de jauge < 0,95 V)
Indique une défaillance au niveau de la jauge et le module électronique doit être
remplacé.
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-3 -4
mbar (7,5 x 10 Torr).
Tableau 23).