Edwards TIC 6 Mode D'emploi page 35

Les jauges AIGX disposent d'une fonction intégrée de contrôle des erreurs. (Se reporter au
Tableau 21 - Contrôle des erreurs/messages de diagnostic des jauges AIGX
Messages de diagnostic
Over Range
Over Pressure
Emission Error
Under Range
Initialising
4.8.7 Multi-jauge (WRG)
Remarque : Pour des spécifications et des instructions détaillées concernant l'utilisation des jauges WRG, consulter
le mode d'emploi (D14701885).
La WRG combine une jauge Pirani et une jauge magnétron inversée dans un seul instrument compact. Elle mesure des
pressions allant de l'atmosphère à 1 x 10
logarithmique/linéaire dans la plage 2-10 V c.c. La partie Pirani de la jauge mesure de l'atmosphère à 1 x 10
-3
(7,5 x 10 Torr) alors que la partie magnétron inversée mesure de 1 x 10
La sortie des deux capteurs est utilisée pour déterminer la pression entre 1 x 10
-4
7,5 x 10 Torr).
La jauge WRG possède des options de menu en plus de celles illustrées. (Se reporter aux options de configuration par
défaut (toutes les jauges) à la
Option de menu
Calibrate
Description
(Sortie de jauge > 9,8 V)
Indique une défaillance au niveau de la jauge et le module électronique doit
être remplacé.
(Sortie de jauge = 9,7 V)
Indique l'arrêt automatique de la jauge en raison d'une augmentation de la
pression au-delà de 6,6 x 10
Réduire la pression et réactiver la jauge.
(Sortie de jauge = 9,5 V)
Indique que le filament est brisé (permutation) ou que la jauge a été activée à
une pression trop élevée. Réduire la pression et réactiver la jauge.
L'alimentation électrique est hors spécifications – vérifier les câbles (longueur
et section).
(Sortie de jauge < 0,025 V)
Indique que le fusible interne de la jauge a sauté ou que celle-ci est
défaillante. Remplacer le fusible conformément aux instructions du mode
d'emploi de la jauge AIGX et, si le problème persiste, remplacer le module
électronique.
Indique que la jauge établit un courant d'émission. Cette opération dure
généralement 5 secondes.
-9
mbar (7,5 x 10
Section 4.8.1). (Se reporter au
Tableau 22 - Options de configuration des jauges WRG
Description
Permet d'effectuer un réglage à l'atmosphère et au vide de la jauge WRG.
Connecter la jauge WRG au contrôleur TIC et la laisser fonctionner à la pression
atmosphérique pendant au moins 10 minutes.
Faire défiler jusqu'à « Calibrate » et appuyer sur « Sélection ».
Le message « Command Sent » (commande envoyée) apparaît pendant 1 seconde pour
confirmer l'exécution de l'instruction.
La WRG effectuera automatiquement un réglage du vide du capteur Pirani à chaque
pompage inférieur à 1 x 10
-2 -2
mbar (5 x 10
-10
Torr). La WRG dépend du gaz et possède une sortie
-2
à 1 x 10
Tableau 22 et à la
-4 -5
mbar (7,5 x 10 Torr).
Page 29
D39701883 Version H
Tableau 21).
Torr).
-9 -3
mbar (7,5 x 10 à 7,5 x 10
-2 -3
et 1 x 10 mbar (7,5 x 10
Figure 22).
-3
mbar
-10
Torr).
-3
et