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Tableau 19 – Contrôle des erreurs/diagnostics des jauges AIGX
Messages de diagnostic
Plage dépassée
(Over Range)
Surpression
(Over pressure)
Erreur d'émission
(Emission Error)
En-dessous de la plage
(Under range)
Initialisation
(Initialising)
4.8.9
Jauge à plage étendue (WRG)
Remarque :
Pour obtenir des informations détaillées sur les spécifications et les instructions d'utilisation de la
jauge WRG, consultez le manuel d'utilisation (D147-01-885).
La jauge WRG est une unité compacte combinant une jauge Pirani et une jauge à magnétron inversé. La jauge
WRG mesure la pression à partir de la pression atmosphérique et descend jusqu'à 1 x 10
La jauge WRG dépend du gaz utilisé et est dotée d'une sortie linéaire/logique se situant entre 2 et 10 V c.c. La
partie Pirani de la jauge mesure à partir de la pression atmosphérique jusqu'à 1 x 10
tandis que la partie à magnétron inversé mesure à partir de 1 x 10
-3
-10
(7,5 x 10
à 7,5 x 10
Torr). La sortie des deux capteurs est utilisée pour déterminer la pression entre 1 x 10
-3
-3
1 x 10
mbar (7,5 x 10
et 7,5 x 10
En plus des options de menu citées précédemment, la jauge WRG possède d'autres options de menu. (Consultez les
options de configuration par défaut (toutes les jauges) à la
Option du menu
Etalonnage (Calibrate)
© Edwards Limited 2016. Tous droits réservés.
Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
Description
(Sortie de jauge > 9,800 V)
Indique que la jauge est défectueuse et que le module électronique doit être
remplacé.
(Sortie de jauge = 9,700 V)
Indique que la jauge s'est automatiquement arrêtée en raison d'une élévation de
la pression au-dessus de 6,6 x 10
Réduisez la pression et réactivez la jauge.
(Sortie de jauge = 9,500 V)
Indique que le filament est coupé (commutation) ou que la jauge a été activée à
une pression trop élevée. Réduisez la pression et réactivez la jauge.
L'alimentation électrique ne correspond pas aux spécifications. Vérifiez les câbles
(sur la longueur et en transversale).
(Sortie de jauge < 0,025 V)
Indique que le fusible interne de la jauge a fondu ou que la jauge est défectueuse.
Le fusible doit être remplacé comme décrit dans le manuel d'utilisation de la
jauge AIGX et si le défaut persiste, il faudra changer le module électronique.
Indique que la jauge est en train d'établir un courant d'émission. Cela prend
environ 5 secondes.
-4
Torr).
Tableau 20 – Options de configuration pour les jauges WRG
Description
Permet à l'utilisateur d'effectuer des réglages d'atmosphère et de vide sur la
jauge WRG.
Connectez la jauge WRG au contrôleur TIC et faites-la fonctionner à la pression
atmosphérique pendant au moins 10 minutes.
Sélectionnez « Calibrate » (Etalonnage) et appuyez sur le bouton de sélection.
« Command Sent » (Commande envoyée) s'affiche pendant 1 seconde pour
confirmer l'envoi de l'instruction.
La jauge WRG effectue automatiquement un réglage de vide du capteur Pirani à
chaque fois que la pression baisse au-dessous de 1 x 10
-2
-2
mbar (5 x 10
Torr).
-3
-2
et descend jusqu'à to 1 x 10
Section
4.8.1.) (Consultez le
D397-21-883 Issue J
-9
-10
mbar (7,5 x 10
Torr).
-3
mbar (7,5 x 10
Torr)
-9
mbar
-2
Tableau 20
et la
Figure
22)
-4
-5
mbar (7,5 x 10
Torr).
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et
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