Technische Daten - WIKA WUD-20 Mode D'emploi

9. Technische Daten

9. Technische Daten
Technische Daten
DE
Messbereich
Überlastgrenze
Berstdruck
1)
Messbereich
Überlastgrenze
Berstdruck
1)
Messprinzip
Werkstoff
Messstoffberührte
Teile
Gehäuse
Inboard Helium-
Lecktest
Oberflächengüte
Totraumvolumen
Zulässige Messstoffe
1) 1 psi = 0,069 bar
66
Typen WUD-20, WUD-25 und WUD-26
psi - 30
bar - 2
psi 120 120
1)
psi 1,800 1,800
psi
bar
psi
1)
psi
Dünnfilmsensor
Prozessanschluss
Drucksensor
Unterteil
Kunststoffkopf
Tastatur
Displaykappe
< 1 x 10 mbar l/sec (atm STD cc/sec) nach SEMI F1
-9
Elektropoliert, typ. Ra ≤ 0,13 µm (RA 5); max. Ra ≤ 0,18 µm (RA 7) nach SEMI F19
WUD-20 < 1,5 cm
Spezialgase, Nebel, Flüssigkeiten
WUD-20 / WUD-25
WUD-26
60 100 160
4 7 11
120 210 320
1,800 2,200 2,600
CrNi-Stahl 316L, nach SEMI F20 (Option: 316L VIM/VAR)
2.4711 / UNSR 30003
304 SS
PBT
TPE
PC
, WUD-25 < 1 cm , WUD-26 < 1 cm
3 3
WIKA-Betriebsanleitung Ultra High Purity Transducer, Typ WUD-2x
250 350 500
17 25 36
500 750 1,100
4,800 6,200 7,400
2,000 3,000
145 225
4,200 6,600
10,500 10,500 10,500
3
1,000 1,500
70 100
2,100 3,000
8,000 10,500
5,000
360
10,000