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Installation
Repère
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A
1) Option/accessoire 'Calibration interne'
2) A la charge du client
5.2.5 Connexion sur l'orifice mode Grosse Fuite
Caractéristiques de ce type de connexion
● Sensibilité limitée
● Très bonne protection de la cellule d'analyse
Connexion
► Voir chapitre « Consignes d'installation à respecter »
► Voir chapitre « Caractéristiques techniques »
► Voir chapitre « Caractéristiques de la pompe primaire »
20
Synoptique connexion mode Grosse Fuite
Repère
1
4
5
6
7
8
9
10
11
1) Option/accessoire 'Calibration interne'
2) A la charge du client
30/110
Désignation
Orifice d'entrée Mode Grosse Fuite DN 16 ISO-KF
Obturateur DN 16 ISO-KF
Orifice d'entrée Mode Normal DN 16 ISO-KF
Orifice d'entrée Mode Haute Sensibilité DN 16 ISO-KF
Orifice d'entrée Mode Haute Sensibilité DN 25 ISO-KF
Obturateur DN 25 ISO-KF
Vanne d'isolement
Pompe primaire
Module vide ASI 35
10+11
9+7
17
8+7
18
6
14
6
19
Désignation
Cellule d'analyse
Lot 'Calibration interne'
Pompe turbomoléculaire SplitFlow 50
Orifice d'entrée Mode Grosse Fuite DN 16 ISO-KF
Obturateur DN 16 ISO-KF
Orifice d'entrée Mode Normal DN 16 ISO-KF
Orifice d'entrée Mode Haute Sensibilité DN 16 ISO-KF
Orifice d'entrée Mode Haute Sensibilité DN 25 ISO-KF
Obturateur DN 25 ISO-KF
2)
2)
A
1
4
5
12
13
1)
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