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6 Localisation des pannes
6.2
Flux de fonctionnement pour le démarrage automatique
du système de vide
n
126
LCMS-8060
LCMS-8060NX
CL
Démarrage
DEL "STATUS"
automatique activé
Clignote en vert
Fermer la vanne de
DEL "STATUS"
fuite Introduire le gaz
Clignote en vert
CID
1 seconde
Démarrer la pompe
DEL "STATUS"
primaire rotative
Clignote en vert
Le vacuomètre de la jauge Pirani indique 450 Pa ou moins
Démarrer la pompe
DEL "STATUS"
turbo-moléculaire à
Clignote en vert
triple entrée
La pompe
turbo-moléculaire à
triple entrée effectue
une rotation normale
en 15 minutes
5 minutes
OUI
DEL "STATUS"
Jauge ionique éclairée
Clignote en vert
Jauge ionique 6 × 10
DEL "STATUS"
Vide "prêt"
Allumée en vert
Démarrage
automatique exécuté
Lorsque l'appareil est resté arrêté pendant une période prolongée, un certain temps
est nécessaire pour le purger et il est possible que l'état "Prêt" ne soit pas atteint
dans l'intervalle de temps prescrit. Dans ce cas, le témoin DEL "STATUS" situé à
l'avant de l'appareil continue à clignoter en vert, mais cela n'indique pas une
anomalie. Lorsque la pression baisse, l'état "Prêt" est atteint et le témoin DEL
"STATUS" s'allume en vert.
CL
NON
Arrêter la pompe
turbo-moléculaire à
triple entrée
-3
Pa
Arrêter la pompe
primaire rotative
Ouvrir la vanne
de fuite
Fermer la vanne
de fuite
DEL "STATUS"
Clignote en rouge
30 secondes
DEL "STATUS"
Clignote en rouge
5 secondes
DEL "STATUS"
Clignote en rouge
10 minutes
DEL "STATUS"
Clignote en rouge
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