INFICON
Température
Énergie et heures de
service
Déroulement
Unité de commande
Module spectromètre
de masse
Interfaces
XL3000flex-Notice-d'utilisation-jina83fr1-07-(2105)
• Environment
• TMP
• Electronic
• TMP
• Energy values : informations sur les valeurs de consommation
• Operation hours : affichage des heures de service
• Supply voltages : informations sur les tensions d'alimentation internes
• Power supply : informations sur les tensions d'alimentation des composants
• Erreur, déroulement des erreurs/avertissements
• Calibrage, déroulement du calibrage
• Erreur TMP, déroulement TMP
• Avertissements, avertissements actifs
• Maintenance, déroulement de la maintenance
• Version control unit : informations sur la version du logiciel
• Memory : informations sur la mémoire disponible
• Settings : paramétrages de l'unité de commande.
• Serial Port wired : informations sur le raccord de communication
• Data Exchange : informations sur l'échange de données entre le module «
spectromètre de masse » et l'unité de commande
• MSB (1) : informations sur la version du logiciel
• MSB (2) : informations sur les paramètres de service
• TMP controller (1) : informations sur la pompe turbomoléculaire
• TMP controller (2) : informations sur la pompe turbomoléculaire, suite
• Ion source : informations sur la source d'ions utilisée
• Preamplifier : informations sur le préamplificateur
• Preamplifier test : informations sur le test du préamplificateur
• Module E/S (1) : informations sur la version du logiciel, les entrées et les sorties
• Module E/S (2) : informations visualisées sur les entrées numériques
Fonctionnement | 6
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