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● Pompe turbomoléculaire à l'arrêt
● Capots latéraux retirés
● Couvercle de carter retiré
Outillage nécessaire
● Clé Allen, WAF 2,5
● Clé plate, WAF 17
Consommables nécessaires
● Fluide de calibration (PFTBA) (référence PT 167 031)
2
3
4
5
6
Fig. 65:
1 Vanne d'isolement EVI 005 M
2 Joint
3 Orifice
Procédure
1. Dévissez manuellement le raccord à vis au-dessus du récipient collecteur en verre.
2. Tirez le récipient collecteur en verre vers le bas pour le dégager de la vanne d'isolement.
3. Remplissez le récipient collecteur en verre avec le fluide de calibration.
4. Montez le récipient collecteur sur la vanne d'isolement.
5. Serrez manuellement le raccord à vis au-dessus du récipient collecteur en verre.
10.11.2 Remplacement de la vanne de calibration
Pfeiffer Vacuum Service prend en charge le remplacement.
► Contactez
10.12 Opérations de maintenance additionnelles pour la version pour gaz
corrosif
10.12.1 Remplacez la vanne de purge de gaz neutre
Conditions préalables
● GSD 350 mis hors circuit
● Câble d'alimentation débranché
● Pompe turbomoléculaire à l'arrêt
● Capots latéraux retirés
● Couvercle de carter retiré
Outillage nécessaire
● Clé Allen, WAF 2,5
● Clé Allen, WAF 3
1
Unité de calibrage
– Attention au disque et à l'orifice.
– Attention au disque et à l'orifice.
Pfeiffer Vacuum
4
Joint
5
Récipient collecteur en verre
6
Raccord à vis
Service.
Maintenance
95/116
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