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Fig. 9:
Systèmes d'admission de gaz
1 Admission de gaz Thermostat
2 Enceinte à vide
3 Pompe turbomoléculaire
4 Aspiration intermédiaire de la pompe turbomoléculaire
Système d'admission de gaz (OmniStar)
Lorsque l'admission de gaz est ouverte, un volume de 1 à 2 sccm du gaz à analyser reflue par le capil-
laire en acier inoxydable vers l'unité de vanne. Le gaz atteint l'orifice sans démixtion via la phase de
réduction de la pression. Le capillaire en acier inoxydable est situé dans un tube capillaire, qui peut être
chauffé à 200 °C, voire à 350 °C en option. Le chauffage capillaire activé chauffe le bloc de vanne. L'ef-
fet de la condensation peut être évité par l'augmentation de la température des gaz à analyser. La van-
ne d'admission de gaz permet d'interrompre le flux de gaz de l'échantillon dans la chambre à vide. Un
orifice encastré permet à une petite fraction du flux de gaz de pénétrer dans l'enceinte à vide. Le flux de
gaz résiduel atteint l'aspiration intermédiaire de la pompe turbomoléculaire. L'admission de gaz sépare
le PrismaPro du flux de gaz, permettant ainsi de déterminer et d'ajuster la quantité individuelle de gaz à
analyser. Pour ce faire, le système d'analyse des gaz ferme la vanne d'admission du gaz et la vanne de
pompe afin d'interrompre le flux de gaz dans les enceintes à vide et dans l'aspiration intermédiaire de la
pompe turbomoléculaire. L'environnement du spectromètre de masse peut être déterminé et soustrait.
La non linéarité de PrismaPro peut agir au détriment des mesures haute précision. L'admission d'un
gaz extrêmement pur (gaz zéro) dans le PrismaPro est ainsi avantageuse pour une détermination préci-
se de l'environnement du spectromètre de masse. Le gaz zéro doit être injecté dans les mêmes condi-
tions de pression que pour le gaz à analyser.
Système d'admission de gaz (ThermoStar)
1 à 2 sccm du gaz à analyser passent par le capillaire en quartz et atteignent l'orifice sans démixtion,
via l'étage intégré de réduction de la pression. Le capillaire en quartz est situé dans un tube capillaire,
qui peut être chauffé à 200 °C, voire à 350 °C en option. Le chauffage capillaire activé chauffe la bride
d'aspiration avec l'orifice. L'effet de la condensation peut être évité par l'augmentation de la températu-
re des gaz à analyser. Le capillaire en quartz se termine à 1 à 2mm avant l'orifice. Cela signifie qu'une
partie du gaz sortant du capillaire en quartz atteint le PrismaPro sans impact sur les parois dans l'étage
de réduction de la pression. Ceci est important pour identifier de faibles concentrations de gaz réactifs,
car ceux-ci ne doivent pas entrer en contact avec l'acier inoxydable. Le flux de gaz n'est pas séparé du
PrismaPro lors de l'utilisation de cette variante à admission de gaz. La quantité individuelle de gaz à
analyser ne peut donc pas être déterminée et ajustée. Si nécessaire, l'admission d'un gaz extrêmement
pur (gaz zéro) dans le PrismaPro est avantageuse pour une détermination précise de l'environnement
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Description du produit
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Bride de raccordement
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Admission de gaz Omnistar
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Vanne d'admission
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Vanne de pompe
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