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Caractéristiques techniques et dimensions
18 Caractéristiques techniques et dimensions
18.1 Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 18:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 19:
18.2 Fiche technique
Configuration (domaine de masse)
Spectromètre de masse quadripôle
Type
Détecteur
Source d'ions
Nombre de filaments chauffés
Performance du capteur en fonction du domaine de masse
Limites de détection minimales (C-SEM)
Quantité de masse voisine(40/41)
Dwell
Réglable de 1 ms/u à 16 s/u
Admission de gaz/gaz de procédé
Type
Pression de gaz échantillon, max.
Débit de gaz
Contaminants
Commande de vanne (OmniStar)
Capillaire
requis
Longueur
12) Les spécifications du domaine de masse s'appliquent seulement aux gaz/espèces sans interférence.
110/116
mbar
bar
1
1 · 10
1,000
1
0,01
1 · 10
1
1 · 10
10
0,01
1,33
1,33 · 10
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
1
10
3
/s
-2
1.69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
1 à 100 u
PrismaPro QMG 250 M1
C-SEM
Crossbeam (C/B)
2
< 100 ppb
< 10 ppm
OmniStar : avec vanne d'entrée
ThermoStar : ouvert en permanence
1 200 hPa
1 à 2 sccm
Grandeur des particules ≤ 1 μm
Via écran d'affichage en couleur 7 po ou interface web
OmniStar : Acier inoxydable
ThermoStar : Quartz
1 m (2 m également disponible)
Pa
hPa
-3
100
1
1,000
1 · 10
5
1
0,01
-5
100
1
-3
1,000
10
-3
133,32
1,33
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1.69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
1 à 200 u
PrismaPro QMG 250 M2
12)
< 1 ppm
< 20 ppm
kPa
Torr | mm Hg
0,1
0,75
100
750
1 · 10
-3
7.5 · 10
-3
0,1
0,75
1
7,5
0,133
1
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
-2
1,27 · 10
1.67 · 10
1
1,32
0,76
1
1 à 300 u
PrismaPro QMG 250 M3
< 10 ppm
< 50 ppm
3
/s
-2
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