Table Des Matières - Edwards AIM-S-NW25 Mode D'emploi

Contents
Section
1 Introduction ........................... 1
1.1 Scope and definitions .......................... 1
1.2 Description ....................................... 2
1.3 Gas dependency ................................. 5
2 Technical data ........................ 7
2.1 Mechanical data ................................. 7
2.2 Performance, operating and
storage conditions .............................. 7
2.3 Electrical data ................................... 9
2.4 Error monitoring ...............................10
2.5 Materials exposed to vacuum ................10
3 Installation ............................11
3.1 Unpack and inspect ............................11
3.2 Fit the AIM Gauge to the vacuum
system ...........................................11
3.3 Electrical connections .........................12
3.3.1 Connect to Edwards controllers
or AGD display ..................................13
3.3.2 Connect to your own supply and
control equipment .............................13
4 Operation .............................17
4.1 Safety ............................................17
4.2 Enable and disable the AIM Gauge ..........18
4.3 Pressure measurement ........................19
4.4 Set-point ........................................21
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Inhalt
Page Abschnitt
1 Einleitung .............................. 1
1.1 Ziel und Definitionen ...........................1
1.2 Beschreibung .....................................2
1.3 Gasart-Abhängigkeit ............................5
2 Technische Daten ..................... 7
2.1 Mechanische Daten ..............................7
2.2 Leistungs-, Betriebs- und
Lager-bedingungen ..............................7
2.3 Elektrische Daten ................................9
2.4 Fehlerüberwachung ........................... 10
2.5 Werkstoffe im Vakuum ....................... 10
3 Einbau ................................. 11
3.1 Auspacken und Kontrollieren ................ 11
3.2 Montage der AIM-Meßröhre in das
Vakuumsystem ................................. 11
3.3 Elektrische Anschlüsse ........................ 12
3.3.1 Anschluß an Edwards-Controller oder
AGD-Anzeigegerät ............................. 13
3.3.2 Anschluß an eigene Netzversorgung und
eigene Steuerung .............................. 13
4 Betrieb ................................ 17
4.1 Sicherheit ....................................... 17
4.2 Zulässiger Betriebsbereich der
AIM-Meßröhre .................................. 18
4.3 Druckmessung .................................. 19
4.4 Sollwert ......................................... 21
D146-41-885 Issue H/Ausgabe H/Version H
Table de matières
Seite Section
1 Introduction ........................... 1
1.1 Portée et définitions ............................1
1.2 Description .......................................2
1.3 Dépendance par rapport au gaz ...............5
2 Caracteristiques techniques ......... 7
2.1 Caractéristiques mécaniques ..................7
2.2 Performances et conditions de
fonctionnement et de stockage ...............7
2.3 Caractéristiques électriques ..................9
2.4 Détection des erreurs ......................... 10
2.5 Matériaux exposé au vide .................... 10
3 Installation ............................11
3.1 Déballer et Vérification ...................... 11
3.2 Montage de la jauge AIM sur le
système à vide ................................. 11
3.3 Raccordements électriques .................. 12
3.3.1 Raccordement à des contrôleurs Edwards
ou à un coffret d'affichage AGD ............ 13
3.3.2 Raccordement à votre propre matériel
et équipement de contrôle .................. 13
4 Fonctionnement ......................17
4.1 Sécurité ......................................... 17
4.2 Activation et désactivation de la
jauge AIM ....................................... 18
4.3 Mesures de pression ........................... 19
4.4 Point de consigne ............................. 21
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