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Maintenance
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Fig. 13:
1 Unité électronique
2 Vis moletée
3 Joint FKM (élément de mesure Pirani)
4 Élément de mesure Pirani
5 Disques de blocage (3×)
6 Vis à six pans creux (3×)
7 Pièce de compression
8 Anode
Démontage de la jauge
1. Retirez la jauge du système de vide.
2. Desserrez la vis moletée du côté de l'unité électronique.
3. Retirez l'unité électronique sans exercer de mouvement rotatif.
4. Desserrez le boulon six pans sur l'unité magnétique.
5. Retirez l'unité magnétique.
6. Retirez le circlip et l'embout de polarité de la chambre de mesure.
7. Retirez les vis à six pans creux et les disques de verrouillage à l'arrière de la chambre de mesure.
8. Retirez les pièces suivantes avec le plus grand soin et sans exercer de force sur l'élément de me-
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Pièces individuelles
– Le capot de l'unité électronique ne peut pas être enlevé.
– La séparation de l'unité magnétique et de la chambre de mesure est compliquée par l'effet de
la force magnétique. En outre, ces pièces ont tendance à basculer facilement.
sure Pirani
● Pièce de compression
● Anode complète
● Joint FKM, bague intérieure comprise
● Élément de mesure Pirani avec joint FKM
1
16
15
4
3
10
11
9
Aide d'amorçage
10
Joint FKM (douille anode)
11
Anneau intérieur
12
Circlip
13
Embout de polarité
14
Chambre de mesure
15
Boulon six pans
16
Unité magnétique
2
6
5
7
8
9
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