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Facteurs de correction
Dans le domaine de pression < 10
Type de gaz
Air, oxygène (O
Hydrogène (H
Hélium (He)
Néon (Ne)
Argon (Ar)
Krypton (Kr)
Xénon (Xe)
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 8:
Saisie du facteur de correction dans l'appareil de commande et de mesure de pression totale
► Saisissez le facteur de correction pour corriger la valeur mesurée qui est affichée.
Calcul de la pression de gaz autres que l'air
► Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
6.4 Respect de la temporisation d'amorçage
Les systèmes de mesure à cathode froide ont une temporisation d'amorçage quand ils sont activés.
Cette temporisation d'amorçage est plus longue pour les basses pressions et est typiquement dans les
unités dégazées propres :
● 10
● 10
● 5 × 10
L'amorçage est un processus statique pour lequel des dépôts même minimes peuvent avoir une grande
influence sur les surfaces intérieures. Tant que le système de mesure à cathode froide ne s'est pas
amorcé, seules les valeurs mesurées Pirani sont émises (« Pirani - underrange » à des pressions
p < 5 × 10
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
), monoxyde de carbone, (CO), azote (N
2
)
2
Facteur de correction pour un domaine de pression <
P
= C × p
eff
● P
= Pression efficace
eff
● C = Facteur de correction
● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l'air)
-5
hPa environ 1 seconde
-7
hPa environ 20 secondes
-9
hPa environ 2 minutes
Activation à une pression p < 3 × 10
Si vous activez la jauge à une pression p < 3 × 10
détecter l'amorçage du système de mesure à cathode froide. La jauge affiche « Pirani un-
derrange ».
Entretien du fonctionnement du jauge
Si la jauge monté sur bride fonctionne en continu quel que soit le domaine de pression, la
temporisation d'amorçage du système de mesure à cathode froide est toujours négligeable
(< 1 s), avec un effet minimal de stabilisation thermique.
-4
hPa). La sortie d'identification signale seulement le fonctionnement Pirani seulement.
-5
hPa, l'affichage est linéaire.
)
2
-9
hPa
Fonctionnement
Facteur de correction (C)
1,0
2,4
5,9
4,1
0,8
0,5
0,4
10 -5
hPa
-9
hPa, la jauge ne sera pas capable de
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