Pfeiffer Vacuum PKR 251 Manuel De L'utilisateur page 26

Fonctionnement
p [hPa]
10 2
8
6
4
2
1
10
8
6
4
2
0
10
8
6
4
2
10 –1
8
6
4
2
10 –2
10
Fig. 8:
p [hPa]
10
–1
8
6
4
2
10 –2
8
6
4
2
10 –3
8
6
4
2
10 –4
8
6
4
2
10 –5
8
6
4
2
10
–6
10
Fig. 9:
26/54
Water vapor
–3 –2
10
2 4 6 8 2 4 6 8
Domaine de pression > 10
–6 10 –5
2 4 6 8 2 4 6 8
Domaine de pression compris entre 10
H
2
–1 0
10 10
2 4 6 8 2 4 6 8
-2 hPa, fonctionnement Pirani seulement
Ar
Air
N
2
O
2
CO
He
10 –4 10 –3
2 4 6 8 2
-6 et 0,1 hPa
He Ne
Air
N
2
O
2
CO
CO
2
Ar
Freon 12
Kr
Xe
1 2
10 10
2 4 6 8
p [hPa]
eff
10 –2 10 –1
4 6 8 2 4 6 8
p [hPa]
eff