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Fonctionnement
6.5 Protection de la jauge contre la contamination
La contamination de la jauge dépend des éléments suivants :
● Pression dans la chambre de vide
● Type de fluide de procédé
● Toute contamination existante ou nouvellement accumulée et de sa pression partielle (par exem-
● Temps de fonctionnement
Le fonctionnement continu dans la plage comprise entre 10
nation importante et réduire la durée de vie et les intervalles d'entretien. Avec des basses pression
constantes (p < 1 × 10
soit nécessaire.
La contamination de la jauge entraîne généralement des déviations dans les valeurs mesurées :
● Dans le domaine des hautes pressions (de 1 × 10
● Dans le domaine des basses pressions (< 1 × 10
Effet sur le degré de pollution
Dans une certaine mesure, le niveau de contamination peut être influencé. Des précautions particuliè-
res doivent être prises dans le cas de vapeurs formant des dépôts dans le plasma (p. ex. du système
de mesure à cathode froide).
► Implémentez des mesures préventives géométriques (tôles de protection, angles) pour les parti-
► Choisissez une position de bride avec une pression partielle de contamination minimale.
► Désactivez la jauge en présence de vapeurs de dépôt.
► Protégez le capteur pendant la séparation de vapeurs à l'aide de dispositifs de sectionnement
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Garantie
Toute anomalie de l'unité résultant directement d'une contamination et de l'usure (comme
l'aide d'amorçage) n'est pas couverte par la garantie.
ple, vapeurs, particules de procédé, etc.)
-6
hPa), une durée de vie de > 1 an peut être atteinte avant qu'un nettoyage ne
élevée (contamination de l'élément Pirani). Le système de mesure Pirani doit être recalibré.
trop basse (contamination du système de mesure à cathode froide). Une contamination excessive
va causer des instabilités (séparation des couches dans la chambre de mesure). Ceci peut entraî-
ner des courts-circuits. Un étanchement complet de la décharge de gaz est aussi possible en cas
de contamination résultant de couches isolées (affichage : « underrange » ou gamme dépassée
vers le bas).
cules se propageant en ligne droite.
(p. ex. vanne).
-4
-2
hPa et 10
hPa peut causer une contami-
-3
hPa à 0,1 hPa), la pression indiquée est trop
-3
hPa), la pression affichée est généralement
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