PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE TV 801 NAVIGATOR BOLTED FLANGE ..........52 Pump Description ......................52 Controller Description ......................53 TECHNICAL SPECIFICATION ....................53 TV 801 Navigator Bolted Flange OUTLINE .................54 INTERCONNECTIONS........................55...
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
Page 7
Il TV 801 Navigator Bolted Flange è un sistema integrato costi- tuito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è...
Page 8
(vedere il paragrafo “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” nell’appendice “Technical Information”). Il LED verde posto sul pannello della base del TV 801 Naviga- ATTENZIONE! tor Bolted Flange indica, con la frequenza del suo lampeggio, le...
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Page 10
ALLGEMEINE INFORMATIONEN VOR DER INSTALLATION Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Modell TV 801 Navigator Bolted Flange wird in einer speziellen Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden.
Page 11
Den Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegen- Navigator Bolted Flange flansch des Systems montieren. Diese Verbindung soll einem Zur Einschaltung von Modell TV 801 ISO F ist es mit der erfor- Drehmoment von 8.900 Nm um die eigene Achse standhalten. derlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Zum Beispiel kann dieser Bolted Flange unter Verwendung Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock-...
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
Page 13
Flange est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Le TV 801 Navigator Bolted Flange est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de commander la soupape de ventilation, de le piloter à...
Page 14
Le TV 801 Navigator Bolted Flange ne peut être fixé par sa dans l'appendice "Technical Information"). base. La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV 801 ISO F indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: ATTENTION! allumée fixe: la pompe est en rotation normale;...
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
Page 16
“Technical Information” para más detalles. turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de El TV 801 Navigator Bolted Flange ha de conectarse a una envío al cliente. bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”).
Page 17
“RS COMMUNICATION su base. DESCRIPTION” en el anexo “Technical Information”). El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 801 ISO F indica, con la frecuencia de su parpadeo, las ¡ATENCIÓN! condiciones operativas del sistema: El TV 801 Navigator Bolted Flange pertenece a la segunda encendido fijo: la bomba está...
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
Page 19
"Technical Information". o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start O TV 801 Navigator Bolted Flange deve ser ligado a uma • o tempo máximo de armazenagem de uma bomba bomba primária...
Page 20
(classe maior que 8.8). Bolted Flange A tabela seguinte descreve o número de parafusos necessários Para ligar o TV 801 ISO F é suficiente fornecer a tensão de e o torque de aperto com o qual apertá-los. alimentação.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Page 22
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 801 Navigator Bolted ALGEMENE INFORMATIE Flange niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De Laat verpakking niet ergens buiten achter.
Page 23
DESCRIPTION” in de bijlage “Technical Information”). De TV 801 Navigator Bolted Flange kan in alle standen worden De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de TV 801 geïnstalleerd. ISO F geeft door de frequentie van zijn knipperen, de...
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Page 25
Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale af apparaterne i nærheden. Varian repræsentant. Montér TV 801 Navigator Bolted Flange i en stabil position ved at montere turbopumpens indgangsflange på systemets FORBEREDELSE FØR INSTALLATION kontraflange. Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på...
Page 26
På nedenstående oversigt vises, hvor mange skruer der Start og anvendelse af TV 801 Navigator Bolted kræves samt hvilket spændingssmoment, de skal strammes Flange ved. For at starte TV 801 ISO F er det tilstrækkeligt at tilslutte et LANGE ANT. DREJNINGS-MOMENT forsyningsstik.
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Page 28
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN TV 801 Navigator Bolted Flange levereras i ett särskilt Fäst TV 801 Navigator Bolted Flange i ett stabilt läge genom att skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret ansluta turbopumpens intagsfläns till systemets fläns som om emballaget visar tecken på...
Page 29
åt. Flange ÅTDRAGNINGS- FLÄNS ANT. För att starta TV 801 ISO F behöver du bara ansluta till ett MOMENT eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen 160 Bolted 5 Nm förreglings- och startsignaler, och startar pumpen.
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Page 31
Når TV 801 Navigator Bolted Flange pakkes ut, må du se til at en tilkopling som er i stand til å tåle et dreiemoment på 8900 det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Page 32
“Teknisk TV 801 Navigator Bolted Flange må ikke festes gjennom Informasjon”). fundamentet. Den grønne lysdioden LD1 på TV 801 ISO F basepanel angir systemets funksjon ved hjelp av blink: den lyser fast: pumpen roterer normalt FORSIKTIG! den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i TV 801 Navigator Bolted Flange hører til installasjonsklasse...
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-980-01(B)
Page 34
HUOMIO! laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä muuta sopivaa suojausta.
Page 35
(ks. kappale “RS 232 VIESTINNÄN " KUVAUS” “Tekniset tiedot” -liitteessä). HUOMIO! Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 801 ISO F:n perustan TV 511/701 Navigator kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän...
Page 36
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
Page 37
◊rceste se epafÿ me to topikÒ tmÿma pwlÿsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste idia∂terh prosocÿ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TV 801 Navigator Bolted Flange kai na mhn uposte∂ ctupÿmata ÿ donÿseij. Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ...
Page 38
τοποθετώντας τη φλάντζα εισόδου της στροβιλοαντλίας στην Flange κοντραφλάντζα του συστήµατος, µε σύνδεση ικανή να υπόκειται σε Gia na an£yete to TV 801 Navigator Bolted Flange arke∂ na ροπή 8900 Nm γύρω από τον άξονά της. promhqeÚsete thn t£sh trofodÒthshj. O enswmatwmevnoÇ controller Για...
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
Page 40
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta bármely művelet miatt történtek. kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig A TV 801 Navigator Bolted Flange egy integrált rendszer turbo- használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. molekuláris szivattyúval nagy és...
Page 41
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Rögzítse a TV 801 Navigator Bolted Flange-et stabil helyen, a A TV 801 Navigátor Bolted Flange turbószivattyú bemeneti karimáját a rendszer ellenkarimájára bekapcsolása és használata szerelve, 8900 Nm tengely körüli nyomatéknak ellenállni képes csatlakozással. A TV 801 Navigator Bolted Flange bekapcsolásához biztosítani Például a csavarozott karima rögzíthető...
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Page 43
OGÓLNE INFORMACJE PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. System TV 801 Navigator Bolted Flange jest dostarczany w Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian przed uszkodzeń...
Page 44
COMMUNICATION DESCRIPTION” w dodatku “Technical 160 Bolted 5 Nm Information” Zielona dioda led znajdująca się na panelu podstawy TV 801 Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być Navigator Bolted Flange wskazuje z częstotliwością własnego zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiedni migania, stan operacyjny systemu: hardware Varian.
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...
Page 46
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. státních normách. Vývěva TV 801 Navigator Bolted Flange se šroubovanou POZNÁMKA přírubou je integrovaný systém s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje Normální...
Page 47
Vypnutí vývěvy TV 801 Navigator Bolted VAROVÁNÍ Flangese šroubovanou přírubou Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 801 Navigátor se šroubovanou přírubou do druhé elektroinstalační (nebo Vývěva TV 801 Navigator Bolted Flange se šroubovanou přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která...
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
Page 49
(bez v dodatku „Technické informácie“. kondenzácie) • Zariadenie TV 801 Navigator Bolted Flange sa musí pripojiť zákazník musí pri prvom spustení turbomolekulárnej k primárnej výveve (pozri „Technické informácie“). vývevy vždy postupovať pomaly a postupne • skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov UPEVNENIE VÝVEVY...
Page 50
Ak chcete zapnúť zariadenie TV 801 Navigator Bolted Flange, a relevantný stanovený točivý moment. musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolér automaticky rozpozná spojenie, spustí signál a zapne vývevu. PRÍRUBA POČET STANOVENÝ TOČIVÝ MOMENT Prvé...
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ...
Page 52
črpalke s sistemom pride do velikega navora. Če povezava ne PRIPRAVA ZA MONTAŽO more izdržati takšnega navora se lahko črpalka izključi iz TV 801 Navigator Bolted Flange je dobavljen v posebni zaščitni sistema ali se ohišje motorja iztrga iz nostilca črpalke. V embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno takšnem primeru lahko priletijo kovinski delci iz črpalke ali...
Page 53
RS 232/485« v prilogi »Tehnične informacije«. Naprave TV 801 Navigator Bolted Flange ne morete fiksirati z Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 801 njegovo lastno spodnjo ploskvijo. Navigator Bloted Flange, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: ·...
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.
Page 55
The TV 801 Navigator Bolted Flange must be connected to a tomer primary pump (see "Technical Information"). •...
Page 56
Bolted Flange FLANGE FIXING TORQUE To switch on the TV 801 Navigator Bolted Flange it is neces- 160 Bolted 5 Nm sary to supply the mains. The integrated controller automati- cally recognizes the interlock and start signals presence and The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the start up the pump.
BOLTED FLANGE • 7th and 8th stages with a blade angle of 16°. The TV 801 Navigator Bolted Flange is composed The Macrotorr stages are in the form of four discs. by a pump (869-8933) with an envelope with fins...
Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the NOTE recommended pre-vacuum pump) When the TV 801 Navigator Bolted Flange has been Inlet flange ISO 160 F stored at a temperature less than 5°C, wait until the...
TECHNICAL INFORMATION TV 801 NAVIGATOR BOLTED FLANGE OUTLINE The following figure shows the TV 801 Navigator Bolted Flange outlines (dimensions are in mm [inches]). 87-900-980-01(B)
TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure INTERCONNECTIONS P3 - Vent The following figure shows the TV 801 Bolted Flange interconnections. This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. 87-900-980-01(B)
START/STOP (+) signal is connected to the +24 This connector carries all the input and output sig- Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the nals to remote control the TV 801 Navigator Bolted GROUND pin: in this condition the pump auto- Flange.
Page 62
TECHNICAL INFORMATION SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must be the following: • frequency: 100 Hz +/-20% • ampitude: 24 V max • duty cycle range: from 25% to 75% • corresponding to an output frequency from 272 Hz to 646 Hz linearly.
Page 63
TECHNICAL INFORMATION How to connect the open-collector inputs of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of SQ 337 to an external sys- tem. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2.
The following figure refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9. This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 801 Navigator Bolted Flange. PIN N. SIGNAL NAME +5V OUT...
TECHNICAL INFORMATION In this way, you will be sure to reduce the influ- Communication Protocol ence of the external noise and to accomplish the The communication protocol is a MASTER/SLAVE EMC requests. In picture d is showed the cable type where: assembled.
Page 66
TECHNICAL INFORMATION The addressed SLAVE will respond with an AN- Command: STOP Source: PC SWER whose structure depends from the MESSAGE Destination: Controller type. When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE.
2 = Time valve on/off Off = 0 (on = closed) (default = 0) (default = 1) Set Point (default = 582) Reserved to Varian service threshold (expressed Set the vent Automatic = 0 in Hz, mA or valve (see note 1.)
Cycle num- 0 to 9999 ber (zeroed An air cooling kit (mod. 5214 NM) is available to by the reset improve the TV 801 Bolted Flange cooling during command) heavy operational conditions. Pump life in 0 to 999999 hours (ze-...
However if the effect is greater, than the case should be carefully reviewed by Varian’s specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and ap- plied to the rotor.