目录及功能标识
MFR-PS2K 或 PS2X
通道指示灯
真空口和
过滤器
MFR-HDS
操作说明,请参见图 1
准备使用设备和操作
MFR-PS2K – 卸下泵传送螺丝
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电源指示灯
交流电源开关
输出接口
通道开关
MFR Rev. 2/13/2006
MFR-WSDS、WSSR
MFR-HSR(仅限 MFR-SDI 和 SDX)
有关手柄插入方面的信息,请参阅
操作说明
MFR-PS2X – 连接外部气体管道 –
输入气压为 450kPa (65 PSI)
氧化物拆
卸垫
不含硫蒸馏水
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