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D145-37-883 Version H
vide et contient une anode à broche entourée d'une cathode cylindrique. Un champ magnétique est maintenu dans
le capteur par des aimants permanents montés à l'extérieur.
Une tension de 2,3 kV c.c. est appliquée entre l'anode et la cathode. Des électrons libres sont accélérés de la cathode
vers l'anode et entrent en collision avec des molécules de gaz, ce qui provoque l'ionisation. Les électrons ainsi que
les ions positifs en résultant sont également accélérés dans le champ électrostatique et provoquent une ionisation
supplémentaire. La trajectoire moyenne de chaque ion s'allonge au fur et à mesure qu'ils suivent une trajectoire en
spirale complexe dans le champ magnétique. Le courant ionique net circulant entre la cathode et l'anode est détecté
par l'unité de contrôle et est fonction de la pression présente dans le capteur.
Le courant ionique est environ proportionnel à une pression de 10
courant augmente jusqu'à ce qu'il atteigne le maximum à environ 1 mbar. Au-dessus de cette pression, le courant
chute jusqu'à ce que la décharge soit éteinte à environ 100 mbar. Ce comportement caractéristique de la jauge
Penning doit être noté, car il peut entraîner une fausse indication de pression lorsque la pression du système est
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supérieure à 1 x 10
mbar. Les pressostats liés à l'indication de la jauge Penning doivent être verrouillés
(habituellement par un signal de jauge Pirani) pour empêcher le fonctionnement incorrect.
Le fonctionnement prolongé du capteur Penning à une pression supérieure à 10
risquant de causer des dégâts irréparables à l'anode dus à une pulvérisation cathodique.
Note:
La sortie du capteur dépend de la composition du système de gaz. Les unités de contrôle Edwards sont
étalonnées pour de l'air/azote.
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à 10
Edwards et le logo Edwards sont marques déposées de Edwards Limited.
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mbar. A des pressions supérieures, le
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mbar n'est pas recommandé, ceci
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