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Pfeiffer Vacuum OMNISTAR Manuel De L'utilisateur page 56

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Vari OmniStar
8.3
Conception
56
Les composants principaux du Vari OmniStar sont illustrés dans la
Figure 8-2 Composants principaux du Vari OmniStar
Figure 8-3 Schéma fonctionnel du Vari OmniStar
PKR
PrismaPlus
Purgeur
Le Vari OmniStar équipé d'un distributeur EVR 116 et d'un contrôleur de vanne RVC 300
permet l'échantillonnage de gaz dans une plage de pressions comprise entre 5E-3 mbar
et 1 000 mbar. Le système est raccordé à la chambre de traitement à échantillonner par
une bride de type DN 16 KF. Le débit du gaz allant de la chambre de traitement vers la
chambre d'analyse du Vari OmniStar est contrôlé par un distributeur EVR 116 équipé
d'un contrôleur RVC et de deux vannes d'arrêt à fonctionnement électromagnétique. La
pression d'analyseur à réguler est mesurée par un manomètre PKR 251 monté sur la
chambre d'analyse. Si la pression de service est inférieure à 5E-3 mbar, le système ne
parvient pas à réguler et continue le prélèvement d'échantillons avec la vanne vari
ouverte, la vanne à haute conductance ouverte et la vanne de dérivation fermée. Si la
pression de l'analyseur est mesurée supérieure à 1E-4 mbar, les vannes se ferment
automatiquement.
L'état du distributeur EVR 116 ainsi que celui des deux vannes d'arrêt à fonctionnement
électromagnétique s'affichent sur le panneau avant du GSD 320. En fonction de la
pression de service, le distributeur ainsi que les vannes d'arrêt sont réglés pour permettre
une réduction optimale de la pression avec un fractionnement minimum des gaz dans la
chambre d'analyse. Le Vari OmniStar est conçu pour le dépistage des variations
graduelles de pression ; il peut ne pas être capable de prendre en charge les
changements extrêmes de pression ou les poussées.
MINI vanne
réchauffeur
v
IS
QMA 200
Orifice
pompe turbo
Vanne électromagnétique spécial
avec le port
de pompage
interétatique
Pompe à membrane
Figure
8-2.
OmniStar avec
distributeur intégré
EVR 116
Bride de
raccordement
DN 16 KF
RVC300
contrôleur RVC 300
M
EVR 116 vanne de régulation
DN 16 ISO-KF

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Ce manuel est également adapté pour:

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