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2.9
Système de vide
Le système de vide se compose d'une chambre à pression atmosphérique et des première,
deuxième et troisième chambres à vide. La pompe primaire rotative purge la première
chambre à vide et la partie arrière de la pompe turbo-moléculaire à triple entrée alors qu'une
simple pompe turbo-moléculaire à triple entrée purge les deuxième et troisième chambres à
vide.
Le démarrage et l'arrêt des deux pompes à vide sont contrôlés par le logiciel LabSolutions.
La pression est mesurée par la jauge Pirani fixée sur la première chambre à vide et par la jauge
ionique fixée sur la quatrième chambre à vide.
Les pressions approximatives pendant la mesure sont présentées ci-dessous. La section de
détection et d'analyse est maintenue sous vide poussé.
• Première chambre à vide (section du Q-array) :
• Deuxième chambre à vide (section du multipôle 1) :
• Troisième chambre à vide (section du multipôle 2) :
• Quatrième chambre à vide (unité de détection et
d'analyse) :
Première
chambre à vide
Pression
atmosphérique
28 m
Vanne de fuite
Jauge Pirani
Deuxième
Troisième
chambre à
chambre à
vide
vide
Pompe turbo-moléculaire
à triple entrée
3
/heure
Pompe primaire rotative
50 à 300 Pa (pour le LCMS-8045 CL)
100 à 300 Pa (pour le LCMS-8050 CL)
(lorsque la température de la DL est de
250 °C)
Environ 5 Pa
(aucun vacuomètre connecté)
Environ 0,1 Pa
(aucun vacuomètre connecté)
3 10
-3
Pa (pour le LCMS-8045 CL)
6 10
-3
Pa (pour le LCMS-8050 CL)
(lorsque le gaz CID est introduit)
Jauge ionique
Quatrième chambre à vide
Intérieur de la pompe turbo-moléculaire à triple entrée
Deuxième
Troisième
chambre à
chambre à
chambre à vide
vide
vide
Niveau
Niveau
intermédiaire
latéral
40 L/s
260 L/s
LCMS-8045
2.9 Système de vide
Quatrième
Niveau
principal
210 L/s
LCMS-8050
CL
CL
2
39
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