Publicité
10.3.8 Système de vide
N°
1
RP OIL Ultragrade19 (4 L)
2
IG GAUGE
3
FILAMENT FOR PB1, ROHS
4
TMP, SplitFlow 310
5
ROTARY PUMP, E2M28
6
CABLE, RP ASSY
7
LEAK VALVE ASSY
8
HOSE TG-32
9
HOSE, CHEMIFLEX 15MM
10
SLEEVE, PTFE 15X22 CL
11
HOSE BAND, GEAR S 50
12
HOSE BAND, WIRE 24
13
HOSE BAND, WIRE SY-22
14
CENTERING RING, SNS7010
15
CENTERING RING, SNS7025
16
CLAMP, SNK1016
17
CLAMP, SNK1025
18
FLANGE PIPE, TQ-VAC
19
ELBOW, KF25-#15
20
FLANGE
21
O-RING, 4D P14
22
O-RING, 4D G100
23
O-RING, 4D P15
24
O-RING, 4D P40
25
O-RING, AS568A-253 4D
26
O-RING, AS568A-272 4D
27
O-RING, AS568A-278 4D
28
O-RING, AS568A-341 4D
29
O-RING, 4D P18
30
O-RING, 4D P5
Nom de la pièce
Réf.
Environ 1,5 L utilisé à chaque
S017-30163-02
changement d'huile
S225-09490-01
Vacuomètre de la jauge ionique
S225-20310-91
Vacuomètre de la jauge Pirani
Corps de la pompe turbo-
S225-14179-01
moléculaire à triple entrée +
alimentation électrique
-
Pour 230 V
Câble d'alimentation électrique
S225-17224-41
de la pompe primaire rotative
S225-03540-94
Utiliser un tuyau d'amenée de
S018-31555-06
1,5 m RP (unité d'achat : m)
Utiliser un tuyau d'évacuation
S016-31697-02
de 0,5 m TMP (unité d'achat : m)
Tuyau d'évacuation de la RP
S018-31511
(unité d'achat : m)
S037-61064
Pour tuyau souple #32
S037-61023
Pour tuyau souple #15
S037-61002
Pour tuyau en vinyle 15 x 1,5
S035-06033-01
S035-06033-03
S035-06033-36
S035-06033-37
S225-12211-91
S225-03535-91
S202-55374
Pour entrée RP
S036-11215
Joint d'évacuation
S036-12517
Joint du porte-source
S036-11216
Pirani, joint hermétique
S036-11243
Pour IG, passe-paroi
S036-15552-53
Couvercle OP
S036-15552-72
Couvercle Q3
S036-15552-78
Couvercle Q1
S036-15553-41
Logement avant et arrière
S036-11218
Pour passe-paroi
S036-11203
Passe-paroi, conversion
LCMS-8045
10.3 Configurations de l'unité
Remarques
283
LCMS-8050
CL
CL
10
Publicité
