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Détecteur de fuites modèle série 979 avec spectromètre de masse à l'hélium
Section 3. Entretien ......................................................................................................................... 3-1
3.1 Version ................................................................................................................................ 3-1
3.1.1 Remise à zéro manuelle et étalonnage....................................................................... 3-3
3.1.1.1 AUTO-ZERO < 0 ............................................................................................ 3-3
3.1.1.2 Gain ................................................................................................................ 3-4
3.1.1.3 Offset (valeur-déplacement) ........................................................................... 3-4
3.1.2 Réglage manuel du tube spec .................................................................................... 3-5
3.1.2.1 Modification des paramètres d'ajustage manuel ............................................ 3-5
3.1.2.2 Réflecteur ....................................................................................................... 3-6
3.1.2.3 Courant d'émission ......................................................................................... 3-6
3.1.2.4 Tension d'ions ................................................................................................ 3-6
3.1.2.5 Tension focale variable .................................................................................. 3-7
3.1.2.6 Tension du filtre anti-parasite ......................................................................... 3-7
3.1.2.7 Tension focale fixée ....................................................................................... 3-7
3.1.2.8 Sélection du filament ...................................................................................... 3-7
3.1.3 Commande de soupape manuelle .............................................................................. 3-8
3.1.4 Installation initialisation système ............................................................................... 3-10
3.1.5 Procédures d'étalonnage de la jauge........................................................................ 3-11
3.1.5.1 Procédure d'étalonnage de la jauge de pression du système ...................... 3-11
3.1.5.1.1 Étalonnage (basse pression) vide .................................................. 3-11
3.1.5.1.2 Étalonnage atmosphérique ........................................................... 3-12
3.1.5.2.1 Étalonnage (basse pression) vide .................................................. 3-13
3.1.5.2.2 Étalonnage atmosphérique ........................................................... 3-14
Section 4. Maintenance .................................................................................................................. 4-1
4.1 Maintenance quotidienne .................................................................................................... 4-5
4.1.1 Vérification de la sensibilité......................................................................................... 4-5
4.2 Ré-étalonnage de la fuite interne étalonnée ........................................................................ 4-5
4.3 Remise en état du tube spectrométre.................................................................................. 4-6
4.3.1 Démontage de l'ensemble du spectromètre ............................................................... 4-7
4.3.2 Suppression du bouton TC ....................................................................................... 4-12
4.3.3 Enlever la source d'ions ............................................................................................ 4-14
4.3.4 Enlèvement du préamplificateur................................................................................ 4-16
4.3.5 Enlevez les pôles magnétiques................................................................................. 4-17
4.3.6 Examen et nettoyage des pièces du spectromètre ................................................... 4-18
4.3.7 Remontage................................................................................................................ 4-21
4.4 Remplacement de la source d'ions en dehors de la maintenance annuelle...................... 4-22
4.4.1 Remontage................................................................................................................ 4-23
4.5 Pompe mécanique ............................................................................................................. 4-24
4.5.1 Remplacement du fluide de la pompe à étanchéité à huile ...................................... 4-24
4.5.2 Remplacement du scellement par pointage de la pompe Triscoll............................. 4-24
4.6 Liste de pièces détachées du 979 ..................................................................................... 4-24
4.7 Liste d'éléments d'accessoires 979 ................................................................................... 4-26
vii
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