Table des Matières
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7.6
Remplacer le réservoir de la TMH 071
Outil nécessaire
Matériel nécessaire
La pompe turbomoléculaire TMH 071 est remplie d'un lubrifiant pour la lubrification
des roulements à billes. Il faut procéder au remplacement du réservoir tous les 2 ans.
Dans des conditions de charge extrêmes de la TMH 071 ou en cas de processus
impurs, il faut choisir des intervalles plus brefs.
Outil spécial clé à douille frontale
Réservoir P/N : 200 000 577
Avertissement
Avant de commencer les travaux d'entretien, assurez-vous que le spectromètre de
masse et la turbopompe sont complètement ventilés. Seulement à l'état ventilé à la
pression atmosphérique il est possible de retirer le couvercle de fermeture du
réservoir.
1
Pour ventiler la TMH 071, il faut déconnecter le raccord de prévide vers Modul1000
et activer l'appareil pendant env. 10 à 25s. Après env. 10s la vanne V2 s'ouvre et le
spectromètre de masse et la pompe turbomoléculaire sont ventilés. Attendre 10s de
plus jusqu'à ce que le système de vide poussé soit complètement ventilé.
2
Mettez l'appareil hors tension et débranchez-le du secteur.
3
Tournez l'appareil sur un côté afin d'accéder au logement de révision en dessous de
l'appareil.
Avertissement:
Veillez à ce que les raccords de prévidage ne soient pas
endommagés.
4
Pour remplacer le réservoir de la pompe turbomoléculaire il faut dévisser le
couvercle de fermeture en dessous de la TMH 071. A ce sujet, voir
Fig.
7-3/3.
Travaux d'entretien
7-7
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