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Système de remplissage d'hélium
5.4.2
Déroulement du processus de contrôle
Le remplissage d'hélium se compose de la pompe à vide, des vannes V30-V34, d'un
point de mesure de pression et de l'alimentation d'hélium.
Vannes V30, V31, V32, V33, V34
Le processus de contrôle du logiciel Commander comprend le contrôle de toutes les
vannes nécessaires pour le remplissage d'hélium de la pièce à contrôler. La
commande des vannes se fait par le connecteur "VALVES".
Avertissement:
Nous recommandons d'utiliser des vannes pneumatiques ou
électropneumatiques.
Point de mesure de pression
L'alimentation en hélium de la pièce à contrôler et un test de grosse fuite contenu
dans le processus de contrôle sont pilotées en fonction de la pression et nécessitent
un point de mesure de pression qui couvre une plage de mesure de < 50mbar jusqu'à
la pression de remplissage maximum de la pièce à contrôler. La ligne caractéristique
et la plage de mesure du point de mesure sont réglées sur le Modul1000. La
connexion du point de mesure de pression se fait par le connecteur "PRESSURE
GAUGE" sur le côté droit de l'appareil.
Pompe à vide
Afin de largement évacuer l'air contenu dans le composant, la pièce à contrôler est
évacuée à l'aide de la pompe à vide avant le remplissage avec de l'hélium. Nous
recommandons une pompe avec une pression finale de < 50 mbar.
1
La pièce à contrôler se trouve dans la chambre à vide reliée à l'entrée du Modul1000.
L'échantillon est relié au dispositif de remplissage d'hélium par l'intermédiaire d'un
accouplement approprié.
2
Après avoir déclenché le signal START, le Modul1000 commence par évacuer la
chambre à vide. Si une pompe à flux partiel est connectée au Modul1000, les vannes
V21
(Fig.
5-1) sont commandées et le processus de contrôle est activé
proportionnellement par la pompe à flux partiel selon les réglages du courant partiel.
3
Un test de grosse fuite est réalisé avant le véritable contrôle d'hélium afin de déceler
de grosses fuites sur l'échantillon ou l'installation de détection de fuite. Si la pression
dans la chambre à 100 mbar est atteinte, il y a un contrôle pour vérifier que la
pression de l'échantillon n'est pas en dessous de la pression réglée p_A de test de
grosse fuite. Si tel n'est pas le cas, le cycle de mesure est interrompu avec le
message d'erreur 91.
4
Si le système passe le test de grosse fuite, la vanne V30 s'ouvre et la pièce à
contrôler est évacuée. Si la pression de l'échantillon est en dessous de la pression
prescrite p_B_pression de pompe durant le temps t_a réglé, la vanne V30 se ferme.
Sinon le cycle de mesure est interrompu avec le message d'erreur 92.
5
Si la pression dans la chambre est suffisamment basse durant le temps t_F_prêt à
mesurer, l'appareil passe en mode mesure. La pression de commutation est réglable
dans le menu :
"Menu principal --> Réglages --> Surveillance --> Limites de pression pour les zones
Modes de fonctionnement
5-6
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