Table des Matières
Publicité
5.2
Mode flux partiel
Afin d'augmenter la capacité d'aspiration dans la chambre à vide/la pièce à tester, il
est possible d'installer une vanne extérieure à flux partiel sur la sortie de vanne V20.
La capacité d'aspiration augmentée accélère les processus d'évacuation et le temps
de réponse du signal du Modul1000.
Selon le réglage, la pompe à courant partiel peut être activée par une vanne à
courant partiel au choix soit durant l'évacuation soit durant l'évacuation et la mesure.
Si la pompe à flux partiel est activée pendant la mesure aussi, il faut tenir compte de
la capacité d'aspiration de la pompe à courant partiel pour l'hélium en réglant le
facteur machines de manière appropriée (voir chapitre 6.9). En outre, il est recom-
mandé de procéder à une calibration externe (voir chapitre 6.6).
Une vanne d'aération V21 extérieure supplémentaire peut être installée pour accé-
lérer l'aération.
Fig. 5-1Mode flux partiel
Pos.
Description
V20
Vanne à flux partiel
Pos.
Description
V21
Vanne d'aération
Modes de fonctionnement
5-2
Publicité
Table des Matières
