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Montage
3.1
Emploi conforme aux prescriptions
La pompe turbomoléculaire est destinée à générer du vide. Elle se prête à
des processus non corrosifs.
La pompe turbomoléculaire doit être vissée à une installation à vide stable et
raccordée à une pompe à vide primaire appropriée.
La pompe turbomoléculaire ne doit fonctionner qu'avec le convertisseur de
fréquence prévu à cet effet, avec les câbles de connexion et les vis de
fixation spécialement conçus à cette fin.
La pompe et le convertisseur de fréquence sont destinés à fonctionner dans
des locaux fermés.
L'utilisation d'accessoires qui ne sont pas spécifiés par la société Leybold
n'est possible qu'après avoir consulté les services de Leybold à ce propos.
Joint à la livraison, le convertisseur de fréquence intégré MAG.DRIVE iM est
nécessaire au fonctionnement des pompes.
3.1.1
Emploi non conforme aux prescriptions
L'emploi de la pompe et du convertisseur de fréquence est considéré comme
étant non conforma aux prescriptions, notamment dans les situations
suivantes :
Pompage de gaz et de vapeurs non appropriés aux matériaux de la
■
pompe
Pompage de gaz toxiques
■
Fonctionnement dans des processus, au cours desquels de l'arséniure de
■
gallium (GaAs) est pompé
Pompage de mélange gazeux présentant une teneur en oxygène >21%
■
Pompage de gaz corrosifs
■
Pompage de gaz contenant de la poussière sans fonctionnement avec du
■
gaz de barrage
Pompage de vapeurs de condensation sans régulation de température
■
adéquate de la pompe. Lors de la compression intervenant dans la
pompe, ces vapeurs risquent de condenser ou de former des dépôts.
Pompage de poussière et de matières solides sans tamis ni filtres appro-
■
priés
Fonctionnement à une haute pression de vide primaire inadmissible
■
Fonctionnement sous des charges de gaz élevées, inadmissibles
■
Utilisation de la pompe et du convertisseur de fréquence dans des zones
■
présentant un risque d'explosion
Inobservation des intervalles de maintenance et d'inspection technique
■
mentionnés s'appliquant à la pompe et au convertisseur de fréquence.
Montage
300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold
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