Table des Matières
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98
Vorvakuum
Vide primaire
MAG W
DN
1300
200 ISO-F
200 CF
1600/1700
250 ISO-F
250 CF
2200
250 ISO-F
250 CF
1) 4 mm pour serpentin de réfrigération
Fig. 1.7 Schéma coté des pompes ; dimensions en mm
b
Ø d1
Sperrgas
s1
Gaz de
barrage
ø d1
ø d2
h
h1
285
285
305
442
254
285
335
472
335
317
325
463
305
317
330
467
335
349
355
492
305
349
372
509
iP
iPL
Ø d2
I
l1
l2
311
311
332
420
1)
1)
1)
307
307
–
416
335
331
374
442
335
322
–
432
343
340
392
450
339
340
–
446
300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold
Description
Ø d
1
DN
s
4
l
1
l
2
b
s1
s2
s3
42
140
0
1)
32
164
0
39
154
0
29
173
0
34
165
0
26
187
0
s4
s5
15
241
–
–
14
259
9
285
12
272
8
302
19
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