Convertisseur
de fréquence
Interrupteur principal
Touches de marche-arrêt
Touche de commande / de
télécommande
Interface d'assistance tech-
nique
Interface client
Commutateurs d'ad resse
(pour Profibus)
Diodes électroluminescentes
Prise d'alimentation au
réseau
Fig. 1.2 Coupe schématique d'une MAG integra avec convertisseur de fréquence ; autres modèles similaires
1.1
Structure et fonctionnement
La pompe turbomoléculaire comprend essentiellement le carter, le rotor à
plusieurs étages, l'ensemble stator, l'entraînement et le palier magnétique.
Le rotor est en alliage d'aluminium. Il consiste en un étage de pompage tur-
bomoléculaire et un étage Holweck.
La MAG a un palier magnétique de précision, cinq axes actifs. Le rotor est
suspendu dans des paliers magnétiques sans aucun risque de perturbation.
Ce principe garantit un fonctionnement sans vibrations et permet l'installation
de la MAG dans toutes les positions. Les paliers magnétiques garantissent
un vide propre puisqu'on n'utilise aucune graisse pour les lubrifier.
Deux paliers de butée assurent la stabilisation mécanique du rotor contre les
chocs et les secousses pendant le fonctionnement. Ils ne sont utilisés qu'en
cas de chocs ou de secousses violents ou de panne de l'électronique.
En cas d'interruption de la tension d'alimentation, la pompe turbomoléculaire
opère comme un générateur et elle alimente le convertisseur de fréquence en
énergie. Le rotor ralentit jusqu'à une fréquence de rotation d'environ 100 Hz
et il se stabilise ensuite dans les paliers de butée.
Les pompes MAG possèdent un dispositif à gaz de barrage. Elles sont refroi-
dies par eau.
Un moteur synchrone régulé sert à entraîner le rotor.
24 V c.c. sortie pour les valvules
Description
Bride vide poussé
Rotor
Eléments de stator
Palier de butée supéri-
eur
Etage Holweck
Moteur synchrone et
paliers magnétiques
Bride de base
Palier de butée inférieur
Rotor
Paliers magnétiques
Paliers de butée
300324726_003_C0 - 10/2016 - © Leybold
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