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INFICON
6.8.5 Consulter les informations relatives aux sous-ensembles
6.8.6 Consulter les informations relatives aux données
6.8.7 Pour consulter les informations sur HYDRO•S
UL6000-Fab,-PLUS-Notice-d'utilisation-iinc75fr1-03-(2401)
Différentes valeurs de mesure et informations sont affichées pour les sous-ensembles
suivants : préamplificateur, source d'ions, pompe turbomoléculaire (TMP), sous-
ensemble de processeur MSB, pompe à pré-vide et son convertisseur de fréquence.
►
> Modules > Préamplificateur
►
> Modules > Source d'ions
►
> Modules > TMP
►
> Modules > TMP2
►
> Modules > Pompe à pré-vide
énergétiques
L'écran affiche différentes valeurs de tension d'alimentation mesurées et les câbles.
►
> Énergie > Tension (1)
ð Cette fenêtre affiche la première partie des informations relatives à la tension.
►
> Énergie > Tension (2)
ð Cette fenêtre affiche la deuxième partie des informations relatives à la
tension.
►
> Énergie > Puissance
►
> Énergie > Intensité
Les paramètres internes pour HYDRO•S s'affichent.
►
> HYDRO•S
Fonctionnement | 6
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