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8 | Nettoyage et maintenance
8.9 Plan de maintenance
Module
Travaux de maintenance Heures de fonctionnement / années
Système de vide
Pompe à pré-
Vérifier la puissance
vide NeoDry
Remplacer la pompe si
nécessaire
TMP SplitFlow
Remplacer le réservoir de
80
lubrifiant
Changer de paliers et
remplacer réservoir de
lubrifiant
Bloc de
Nettoyer les vannes
vannes
Remplacer les joints de
vanne
Démonter et nettoyer le
bloc de vannes
Conduite de
Remplacer le filtre
gaz de flux et
de gaz de
rinçage
Système électrique
Modules
Nettoyer le châssis
d'aérateur
d'aérateur et le TMP
Contrôler le kit de filtre à
air et le remplacer si
nécessaire
Sous-ensembles et accessoires
Cordon du
Remplacer le filtre
renifleur
SL3000
Fuite calibrée
Recalibrage /
remplacement
Légende du plan de
maintenance
134 / 164
1500
1/4
X
3
X
3
X
- effectuer le mode renifleur toutes les
3
1000 heures
X
- à exécuter en fonction de la date
2
d'expiration
• I Client ou niveau supérieur
• II Client avec formation ou niveau supérieur
• III Technicien de maintenance INFICON
4000
8000
16000 24000
1
2
3
X
X
X
X
X
X
3
3
X
3
X
X
X
3
X
X
X
3
X
X
3
X
X
X
3
1
1
X
X
X
1
1
1
X
X
X
1
1
1
UL6000-Fab,-PLUS-Notice-d'utilisation-iinc75fr1-03-(2401)
Niveau
Numéro de la
de
pièce de
service
rechange
4
X
II
X
III
200009420
3
200009420R
II
200003801
X
III
200003800
2
200003800R
X
III
X
III
200010545
X
III
3
X
II
200000683
1
200001095
X
II
1
X
I
200007656
1
I
200001116
20003500
III
14030
INFICON
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