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6 | Fonctionnement
6.5 Test de fuite avec I•RISE (selon l'instrument)
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2 Modifier les paramètres d'affichage généraux [} 62]
Standard sur UL6000 Fab PLUS.
Introduction
I•RISE procède à une mesure de l'augmentation de pression cyclique interne au
détecteur de fuite.
Une recherche de fuite réalisée par mesure de l'augmentation de pression se sert du
fait que les défauts d'étanchéité provoquent un flux constant de gaz dans un récipient
d'évacuation adéquat. Concernant le récipient, il s'agit le plus souvent d'une chambre
sous vide.
L'avantage par rapport à la recherche de fuite avec de l'hélium est que le taux de fuite
total, c.-à-d. la somme des débits de toutes les fuites du récipient, peut être mesuré
sans pulvérisation. Cela permet toutefois seulement de détecter des fuites
relativement importantes.
Pour mesurer l'augmentation de pression, typiquement, la vanne côté pompe du
récipient d'évacuation est fermée. L'accroissement de pression dans le récipient est
ensuite généralement mesuré en mbar/min ou torr/min.
Avec la solution INFICON I•RISE, l'accroissement de pression est mesuré dans un
volume à l'intérieur du détecteur de fuite et donc à l'extérieur du récipient.
Comparativement à une mesure de l'augmentation de pression classique, la mesure
peut être effectuée beaucoup plus rapidement et de manière continue. Une mesure
externe de l'augmentation de pression classique est remplacée par I•RISE.
Le taux de fuite Q peut également être obtenu en multipliant le taux de fuite I•RISE
affiché par le volume du récipient par exemple en mbar*l/s :
Q/(mbar*l/s) = I•RISE (mbar/s) * volume/l
Préparation à la mesure I•RISE
ü
Droits d'opérateur ou de superviseur suivant le besoin de modification.
ü Pour la mesure du vide, l'instrument est relié à un récipient, par exemple à une
chambre sous vide.
1
Assurez-vous que l'instrument est en mode de mesure ULTRA. Pour cela,
comparez la valeur affichée sur l'écran de mesure en mode de mesure (mode
de fonctionnement) ; voir également « Structure du clavier tactile [} 30] ».
UL6000-Fab,-PLUS-Notice-d'utilisation-iinc75fr1-03-(2401)
INFICON
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