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6 | Fonctionnement
1 Pompe turbomoléculaire 2 (TMP booster)
2 Bride d'entrée
3 p1 ... p4 : points de mesure de la pression
4 Fuite calibrée interne
5 V2a, V2b ... V15 : électrovannes pour la
régulation des flux de gaz
6.14 Rétablir les paramètres d'usine
102 / 164
2
1
V15
V14
V13
V12
Fig. 13: Les principaux composants du diagramme de vide dans les instruments UL6000
Vous pouvez rétablir les paramètres d'usine de l'instrument.
Perte des réglages et données de mesure
Après une réinitialisation aux paramètres d'usine, la mémoire de l'instrument ne
comporte plus que les paramètres d'usine du fabricant. Le logiciel de l'instrument n'est
pas réinitialisé avec le rétablissement des paramètres d'usine.
ü
Droits Supervisor
1
> Configurer > Généralités > Réinitialisation
2
Faites votre choix :
ð Si vous souhaitez réinitialiser tous les paramètres, appuyez sur le bouton
« Réinitialiser les paramètres ».
ð Si vous souhaitez supprimer toutes les données de mesure enregistrées et
les comptes d'utilisateur, appuyez sur le bouton « Supprimer données ».
4
3
TL
p3
V4c
p1
V11
V2b
10
6 Spectromètre de masse
7 Pompe turbomoléculaire 1
8 Point de mesure de la pression pour le contrôle
de flux
9 Cordon du renifleur
10 Pompe à pré-vide
UL6000-Fab,-PLUS-Notice-d'utilisation-iinc75fr1-03-(2401)
5
V7
MS
V8
V9
p4
p2
V10
V2a
V5
9
INFICON
6
7
8
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