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Méthode par le vide
Afin de détecter des fuites sur un échantillon (méthode par le vide), celui-ci doit être évacué
pour que l'hélium ou l'hydrogène pulvérisé sur l'extérieur puisse entrer par les fuites causées
par la pression différentielle de détection détectée par l'ELD500.
L'échantillon est évacué – Touche START
la pompe externe. Dans le cas d'échantillons plus importants, vous pouvez, au besoin,
raccorder en parallèle une pompe à flux partiel externe supplémentaire avec la vanne de
liaison correspondante.
La vanne d'admission V1 est ouverte pour procéder à l'évacuation. Simultanément, les autres
vannes sont fermées pour éviter l'augmentation d'une pression non admissible dans le
spectromètre de masse.
Dans ces conditions (vanne V2a fermée), la pompe turbomoléculaire fonctionne sans l'aide de
la pompe rotative à palettes. Dans la mesure où aucun gaz n'est pompé hors du spectromètre
de masse, p2 reste constant ou n'augmente que lentement.
La condition d'évacuation décrite ici est maintenue tant que la pression d'admission p1 n'a
pas chuté en deçà de 15 mbar. Désormais, les vannes V2a et V2b sont également ouvertes.
L'hélium ou l'hydrogène, éventuellement présent, peut s'écouler en amont dans le sens de
pompage opposé de la pompe turbomoléculaire du spectromètre de masse où il a été
détecté. Il s'agit du mode de mesure GROSS. Dans ce mode, il est possible de détecter les taux
de fuite qui descendent jusqu'à 10
Dans la mesure où la pompe à vide rotative à palettes poursuit l'évacuation de l'échantillon
par l'intermédiaire des vannes V2a, V2b et V1, la pression d'admission p1 continue de chuter.
Lorsque la pression chute en dessous de p1 < 0,2 mbar, l'ELD500 basculera en mode FINE, ce
qui veut dire que les vannes V1 et V2b se ferment, et la vanne V4a s'ouvre pour permettre au
débit de gaz d'entrer dans la pompe turbomoléculaire sur le côté. Cela présente deux
avantages :
1. Une partie de la vitesse de pompage élevée de la pompe turbomoléculaire reste
disponible pour d'autres opérations d'évacuation de l'échantillon. Le temps de
réponse est inversement proportionnel à la vitesse de pompage.
2. Il est toujours possible de bénéficier des avantages du principe du flux à contre-courant.
La sensibilité optimale de l'ELD500 est atteinte en mode FINE.
En raison de la pression de base plus élevée de la pompe à membrane, la vanne V4b assure le
passage de l'ELD500 DRY du mode GROSS au mode FINE. Lorsque la pression chute en dessous
de 3,5 mbar, les vannes V1 et V2b se fermeront et la vanne V4b s'ouvrira progressivement.
Lorsque la vanne V4b est entièrement ouverte avec une pression inférieure à 0,1 mbar, V4a
s'ouvre également pour obtenir la vitesse de pompage maximale. En mode PRECISION,
l'ELD500 DRY ouvre la vanne V4b uniquement, avec l'inconvénient d'une vitesse de pompage
faible, mais une sensibilité maximale.
Lorsque le processus de détection de fuites est arrêté (touche STOP), toutes les vannes, à
l'exception de la vanne V2a, sont fermées.
La vanne V3 est ouverte lors de la remise à l'air de l'admission ou de l'échantillon.
D135-10-883_D - Description
(Figure
11, élément 10) – par la pompe primaire ou
-8
mbar l/s.
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