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Edwards ELD500 Mode D'emploi
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DÉTECTEUR DE FUITES ELD500 –
MODE D'EMPLOI
Numéro de référence : D135-10-883
Issue : D
Traduction des instructions d'origine
edwardsvacuum.com

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Sommaire des Matières pour Edwards ELD500

  • Page 1 DÉTECTEUR DE FUITES ELD500 – MODE D’EMPLOI Numéro de référence : D135-10-883 Issue : D Traduction des instructions d’origine edwardsvacuum.com...
  • Page 2 D135-10-883_D- Droits d’auteur Droits d’auteur © Edwards Limited 2019. Tous droits réservés. Informations sur les marques Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
  • Page 3 RH15 9TW Royaume-Uni Le produit suivant Système de détection de fuites – ELD500 : ELD500 WET, 200 - 240 V c.a., 50/60 Hz D13510903 ELD500 WET, 100 V c.a., 50/60 Hz D13510904 ELD500 WET, 100 - 120 V c.a., 60 Hz D13510906 ELD500 DRY, 200 - 240 V c.a., 50/60 Hz...
  • Page 4 Cette page a délibérément été laissée vierge.
  • Page 5 Conduite de reniflage (ELD500 SL) ................19 Commande à distance RC filaire et RC sans fil ............20 Adaptateur du flux partiel (ELD500) ................20 Câble de démarrage automatique du détecteur de fuites ELD500 ......20 Réglages par défaut ......................21 Installation Positionnement .......................
  • Page 6 Orifice d’admission ....................28 Refoulement ......................28 Remise à l’air ......................28 Raccord du lest d’air ....................29 Connexion pour une pompe externe (ELD500 FLEX uniquement) ......29 Fonctionnement Compatibilité des supports/gaz de purge ................ 31 Démarrage ........................31 Affichage ........................31 Affichage en mode de montée en régime ..............
  • Page 7 Configuration de flux partiel/configuration de pompe ......... 64 Activation du mode de flux partiel ................ 64 Configuration de flux partiel pour le modèle ELD500 WET/DRY ......64 Configuration de flux partiel pour ELD500 FLEX ............ 65 Réglage du vide pour ELD500 FLEX ............... 65 Configuration de flux partiel pour le modèle ELD500 FLEX ........
  • Page 8 Entretien Informations de sécurité ....................85 Fréquence d’entretien ..................... 85 Entretien .......................... 85 Opérations d’entretien ....................86 Ouverture de l’ELD500 ....................86 Remplacement des éléments filtrants ................ 87 Changement d’huile ....................87 Vidange d’huile ......................88 Nettoyage ........................89 Remplacement des fusibles ..................89 Filtre d’huile au refoulement ..................
  • Page 9 Entrée numérique du seuil de déclenchement, exemple de chiffre ....... 40 Seuil de déclenchement, changement du premier chiffre ........40 Sortie de l’enregistreur : ELD500 à jauge de Pirani, P1 et P2 ........42 Sortie de l’enregistreur : P1 et P2 existants ............43 Sortie de l’enregistreur : exposant du taux de fuite ..........
  • Page 10 Caractéristiques physiques de l’ELD500 WET ............12 Caractéristiques électriques de l’ELD500 WET ............13 Autres caractéristiques de l’ELD500 WET ............... 13 Conditions de placement de l’ELD500 WET ............13 Caractéristiques physiques de l’ELD500 DRY ............13 Caractéristiques électriques de l’ELD500 DRY ............14 Autres caractéristiques de l’ELD500 DRY ..............
  • Page 11 L’utilisateur est tenu de lire et de respecter scrupuleusement toutes les précautions de sécurité indiquées dans cette section et dans tout le mode d’emploi. Vous ne devez utiliser l’ELD500 que dans les conditions adéquates et conformément aux conditions de fonctionnement déterminées dans le mode d’emploi.
  • Page 12 230 V (+/-5 %) ou 115 V (+/-5 %) selon la version du détecteur de fuites. Vérifiez que la valeur nominale de la tension secteur sur l’ELD500 correspond à la tension secteur disponible au niveau local.
  • Page 13 La plage du préamplificateur et les plages de vide sont sélectionnées automatiquement. La fonction de sélection automatique de plage de l’ELD500 couvre la plage complète ou les taux de fuite en fonction du mode de fonctionnement sélectionné. Sélection automatique de la plage Outre le signal du taux de fuite, la pression de la pièce...
  • Page 14 à 0,2 mbar. Le taux de fuite décelable minimum s’élève à £ 5 x 10 mbar l/s. « Precision » est un mode de mesure pour ELD500 DRY uniquement à partir d’une pression d’admission PRECISION inférieure à 0,01 mbar. Ce mode garantit la plus haute sensibilité...
  • Page 15 évacuée pendant la réalisation du test. Le vide est obtenu grâce à un système de pompage qui fait partie de l’ELD500. De plus, le vide peut être généré par les pompes qui sont établies parallèlement à l’ELD500.
  • Page 16 D135-10-883_D - Description Schéma de vide de l’ELD500 WET Le schéma de vide ci-dessous présente les principaux composants à l’intérieur de l’ELD500 WET. Figure 2 Schéma de vide de l’ELD500 Pompe humide 1. MS : spectromètre de masse, capteur d’hélium (spectromètre de masse à...
  • Page 17 D135-10-883_D - Description En plus de maintenir la pression dans le spectromètre de masse, le système de pompage est utilisé pour évacuer les pièces à tester. Veillez à ce que la pression dans le spectromètre de masse soit suffisamment faible en toutes circonstances. Les vannes V1, V2a, V2b et V4a contrôlent les débits de gaz lors de la mesure.
  • Page 18 Schéma de vide de l’ELD500 DRY L’ELD500 DRY est équipé d’une pompe à membrane qui fait office de pompe à vide primaire, ce qui permet de l’utiliser dans les applications où les systèmes à joint d’huile ne peuvent pas être utilisés.
  • Page 19 D135-10-883_D - Description Schéma de vide de l’ELD500 FLEX L’ELD500 FLEX n’est pas équipé de pompe de prévidage intégré comme les autres modèles. C’est pour cette raison qu’il n’est possible de l’utiliser qu’avec une pompe externe. Cette pompe peut être à joint d’huile ou sèche avec une capacité de prévidage comprise entre 2,5 et 65 m /h.
  • Page 20 V2a, V2b et V1, la pression d’admission p1 continue de chuter. Lorsque la pression chute en dessous de p1 < 0,2 mbar, l’ELD500 basculera en mode FINE, ce qui veut dire que les vannes V1 et V2b se ferment, et la vanne V4a s’ouvre pour permettre au débit de gaz d’entrer dans la pompe turbomoléculaire sur le côté.
  • Page 21 (Figure 2) s’ouvre. Les conduites du renifleur sont conçues de manière à ce que l’ELD500 fonctionne en mode FINE. Si la pression du vide primaire P2 de 0,1 mbar augmente de plus de 0,2 mbar, un symbole d’avertissement et une alarme sonore s’affichent sur l’écran.
  • Page 22 Temps de montée en régime (après démarrage) < 2 min Certaines conditions doivent être remplies pour descendre jusqu’à la plage de taux minimal de fuite décelé : L’ELD500 WET doit tourner pendant 20 minutes au moins.  Les conditions ambiantes doivent être stables (température, aucune vibration ni ...
  • Page 23 Niveau de contamination (selon la directive CEI 60664-1) Catégorie de surtension (selon la directive CEI 60664-1) Conditions de placement Tableau 4 Conditions de placement de l’ELD500 WET À utiliser à l’intérieur des bâtiments Température ambiante admissible (pendant le +10 °C à +40 °C fonctionnement) Température de stockage admissible...
  • Page 24 D135-10-883_D - Description Tableau 5 Caractéristiques physiques de l’ELD500 DRY (suite) - en mode renifleur < 1 x 10 mbar l/s Taux maximum de fuite d’hélium pouvant être 0,1 mbar l/s affiché Plage de mesures 11 décades Constante de temps du signal de taux de fuite <...
  • Page 25 D135-10-883_D - Description Tableau 7 Autres caractéristiques de l’ELD500 DRY (suite) Niveau sonore (dB (A)) < 54 Alarme sonore maximale (dB (A)) Niveau de contamination (selon la directive CEI 60664-1) Catégorie de surtension (selon la directive CEI 60664-1) Conditions ambiantes Tableau 8 Conditions ambiantes de l’ELD500 DRY...
  • Page 26 D135-10-883_D - Description Tableau 9 Caractéristiques physiques de l’ELD500 FLEX (suite) Masses détectables 2, 3 et 4 Spectromètre de masse Champ à secteur magnétique 180° Source d’ions 2 filaments ; iridium/oxyde d’yttrium Orifice d’admission DN 25 KF Temps de montée en régime (après démarrage) < 2 minutes Certaines conditions doivent être remplies pour descendre jusqu’à...
  • Page 27 D135-10-883_D - Description Conditions de placement Tableau 12 Conditions de placement de l’ELD500 FLEX À utiliser à l’intérieur des bâtiments Température ambiante admissible (pendant le +10 °C à +40 °C fonctionnement) Température de stockage admissible -10 °C à +60 °C Humidité...
  • Page 28 D135-10-883_D - Description Figure 6 Dimensions en vue latérale de l’ELD500 et de l’ELD500 FLEX Informations de commande ELD500 WET, 220 à 240 V, 50/60 Hz D13510903 ELD500 DRY, 220 à 240 V, 50/60 Hz D13520903 ELD500 WET, 100 à 120 V, 50/60 Hz D13510904 ELD500 DRY, 100 à...
  • Page 29 CL – He 4 à 6 D135 50 950 Conduite de reniflage (ELD500 SL) L’ELD500 peut être facilement transformé en un détecteur de fuites à renifleur à l’aide de la conduite de reniflage SL ELD500. Versions disponibles : SL ELD 500 ...
  • Page 30 Le bloc de vannes des flux partiels et la vanne d’équerre doivent être raccordés à la bride d’admission de l’ELD500. Raccordez le câble de commande dans le port Option et le tuyau pour vide dans la pompe auxiliaire. Vous devez configurer l’ELD500 comme il est décrit dans Configuration de flux partiel/configuration de pompe.
  • Page 31 D135-10-883_D - Description Réglages par défaut Les paramètres suivants sont définis comme indiqué lorsque dans le menu de l’ELD500 sous Settings > Parameters, Load/Save est choisi. Échelle linéaire Plage d’affichage : 4 décades Axe du temps : 32 secondes LCD inversé...
  • Page 32 D135-10-883_D - Description Message pour l’entretien du filtre au Activé refoulement d’huile (ELD500 uniquement) Protection contre la contamination Désactivée Limite de mise à l’arrêt pour la protection 1E-3 mbar l/s contre la contamination : (Limites : 1E-6 mbar l/s à 1E+3 mbar l/s)
  • Page 33 Lorsque l’échantillon est soumis à une surpression d’hélium et qu’il est testé de l’extérieur à l’aide d’un renifleur relié à l’orifice d’admission (mode renifleur). L’ELD500 doit être utilisé pour la détection de fuites uniquement. Ne l’utilisez pas comme un système de pompage (surtout pour le pompage de gaz agressifs ou humides).
  • Page 34 Vous ne devez utiliser que des câbles secteurs tripolaires avec un conducteur de terre de protection. Il est interdit d’utiliser l’ELD500 lorsque le conducteur de mise à la terre n’est pas relié. Une mauvaise tension peut endommager l’ELD500. La tension doit être comprise dans une plage de 230 V (+/-5 %) ou de 115 V (+/-5 %) suivant la version.
  • Page 35 D135-10-883_D - Installation Raccordement pour le signal du contrôleur et les accessoires Option (accessoires) Vous pouvez connecter l’ELD500 SL ou l’adaptateur de flux partiel au port Option (Figure élément 9) : Les broches de contact 1 et 3 sont fusionnées ensemble à l’aide d’un fusible à action retardée de 0,8 A.
  • Page 36 D135-10-883_D - Installation Entrée numérique (Control 2) Ces entrées peuvent être utilisées pour commander l’ELD500 avec un contrôleur logique programmable (PLC). Les contacts sont numérotés de bas en haut. ATTENTION : Tension d’alimentation maximale de 35 V. Tableau 15 Broches de sortie du connecteur de l’entrée numérique (Control 2)
  • Page 37 WLAN permet de connecter les dispositifs portatifs. La commande à distance de l’ELD500 à RC sans fil connectée par un câble à REMOTE1 REMOTE2 ne peut pas être utilisée. Le transmetteur Bluetooth et le module WLAN ne sont pas compris dans la livraison de l’ELD500.
  • Page 38 Filtre d’huile au refoulement). AVERTISSEMENT : Si vous utilisez l’ELD500 dans des pièces fermées, placez le système d’évacuation à l’extérieur à l’aide de l’adaptateur fourni. De cette façon, les vapeurs d’huile qui sont dangereuses pour la santé sont évacuées à l’extérieur.
  • Page 39 Connexion pour une pompe externe (ELD500 FLEX uniquement) L’ELD500 FLEX permet de relier la pompe à vide primaire externe à la bride DN 25 KF de deux façons, soit sur le côté, soit sur la partie inférieure de l’ELD500 (pour les mesures, voir Figures 5 et 6).
  • Page 40 D135-10-883_D - Installation Cette page a délibérément été laissée vierge. Page 30...
  • Page 41 Le taux de fuite affiché correspond à la concentration de fond d’hélium dans la pièce testée. Étant donné que l’ELD500 continue de pomper la pièce, ce taux de fuite de fond se réduit davantage. Dès que le taux de fuite est suffisamment bas pour satisfaire aux exigences, vous pouvez commencer la pulvérisation d’hélium ou d’hydrogène pour détecter d’éventuelles...
  • Page 42 à l’intérieur de la pompe. Après 20 minutes, la machine ferme automatiquement la vanne de lest d’air pour limiter les pertes d’huile. Vous pouvez choisir automatiquement cette fonction pour l’ELD500 FLEX. Chaque fois que l’appareil bascule en mode veille, la purge démarre automatiquement pendant 20 secondes.
  • Page 43 Mode de service VAC ou SNIFF indique le mode de service sélectionné. FINE Zone du vide Selon la pression d’admission, l’ELD500 peut être en mode GROSS, PRECISION (ELD500 DRY uniquement) ou « FINE », qui est indiqué ici (Réglages du vide).
  • Page 44 Les étapes qui constituent la première mise en service sont décrites ici. La mise sous tension de l’ELD500, la méthode de mesure et la procédure pour un étalonnage interne y sont expliquées. Si un événement inattendu se produit lors de la première mise en service, ou si le détecteur de fuites réagit de façon anormale, vous pouvez éteindre l’ELD500 à...
  • Page 45 11). Elle est suivie d’informations d’état relatives à la vitesse de la pompe turbomoléculaire, à la pression du vide primaire, à l’émission et au filament actif. La procédure de démarrage se termine en moins de 2 minutes par un signal. L’ELD500 se trouve alors en mode veille (Figure 11).
  • Page 46 STANDBY/VENTED (Veille/Remise à l’air) à l’affichage. L’entrée est désormais remise à l’air. 20.Retirez l’objet test et placez une bride pleine sur l’orifice d’admission. Mise hors tension 21.Éteignez l’ELD500 si l’appareil est en mode STANDBY/VENTED (Veille/Remise à l’air) à l’aide de l’interrupteur secteur (Figure 8, élément 4).
  • Page 47 Appuyez sur la touche START (Démarrer) (Figure 11, élément 10) pour permettre à l’ELD500 de démarrer la procédure de mesure. Le taux de fuite mesuré est indiqué sur l’affichage. Si vous appuyez encore sur la touche START (Démarrer) en mode de mesure, l’indicateur du taux de fuite maximal (fonction de...
  • Page 48 D135-10-883_D - Fonctionnement Touche ZERO (Point zéro) Appuyez sur la touche ZERO (Point zéro) (Figure 11, élément 11) pour activer le mode zéro (voir la section Filtre et fond). En appuyant sur la touche ZERO, le taux de fuite actuellement mesuré...
  • Page 49 D135-10-883_D - Fonctionnement Pour voir le signal de mesure (y compris le signal de fond), appuyez de nouveau sur la touche ZERO. La valeur enregistrée est alors remise à zéro. Le signal de fond n’est plus supprimé (Figure 13). Touche MENU L’actionnement de la touche MENU (Figure 11, élément 13)
  • Page 50 D135-10-883_D - Fonctionnement Exemple Pour modifier le seuil de déclenchement à 1,0 x 10 mbar l/s à 3 x 10 mbar l/s, appuyez sur 2/3 (touche nº 3, Figure 15). Tenez compte du fait que le premier chiffre est affiché de manière inversée.
  • Page 51 Touche nº 3 : RS232 L’ELD500 est commandé par l’interface RS232 grâce à un ordinateur externe. Dans ce mode, il est impossible de commander l’ELD500 par clavier. Les touches START, STOP et ZERO sur la machine sont désactivées. Touche nº 4 : ELD500 est commandé...
  • Page 52 STOP et ZERO sur le panneau de commande et la commande à distance. Touche nº 7 : Local L’ELD500 est commandé par les touches START, STOP et ZERO sur le panneau de commande ou la commande à distance. Il s’agit du paramètre par défaut. Définition de la sortie de l’enregistreur Main menu >...
  • Page 53 D135-10-883_D - Fonctionnement LR linear Deux décades sont enregistrées, la décade inférieure avec des tensions comprises entre 0,1 et 1,0 V, et la décade supérieure avec une sortie comprise entre 1,0 et 10,0 V. L’échelle est linéaire. La sortie de l’enregistreur Zoom (taux de fuite) est limitée à...
  • Page 54 D135-10-883_D - Fonctionnement RS232 Main Menu > Settings > Interfaces > RS232 Touche nº 2 : Protocole RS232 Touche nº 6 : Protocole Remote 1/2 Les paramètres pour le protocole RS232 peuvent être le protocole LD ou ASCII Définition des sorties PLC Main Menu >...
  • Page 55 S’ouvre lorsque l’émission est activée. Définition des entrées PLC Main menu > Settings > Interfaces > Define PLC inputs Ces entrées peuvent être utilisées pour commander l’ELD500 avec une commande logique programmable (PLC). ATTENTION : Tension d’alimentation maximale de 35 V.
  • Page 56 D135-10-883_D - Fonctionnement Tableau 22 Entrées PLC Broche Affectation PLC librement sélectionnable PLC librement sélectionnable GND (Mise à la terre) du PLC Description du mode de fonctionnement de l’entrée numérique. Les contacts sont numérotés de bas en haut. Ces entrées PLC ne fonctionnent qu’en définissant l’emplacement exact de la commande. Vous pouvez consulter le réglage effectif de la broche sous Info/View internal data.
  • Page 57 Le menu principal Figure 22 renvoie l’opérateur vers de nombreux sous-menus décrits dans les chapitres suivants. Le menu principal est le même pour tous les modèles d’ELD500. La page suivante donne un aperçu de l’architecture complète du menu (Figure 22).
  • Page 58 Étalonnage de l’ELD500. Voir la section Étalonnage. Settings Réglages des paramètres internes de la machine. Voir la section Réglages. Information Informations sur l’ELD500 (données électriques et de vide) et menu d’entretien. Voir la section Informations. Access Control Restrictions d’accès. Voir la section Access Control (Commande d’accès).
  • Page 59 D135-10-883_D - Fonctionnement Figure 22 Aperçu de la structure des menus 1er niveau 2e niveau 3e niveau Scale linear / logarithmic Display range Time axis View Contrast Background in standby Lower display limit Mode Sniff/Vacuum Trigger Level 1 Trigger Level 2 Trigger Level 3 Trigger &...
  • Page 60 D135-10-883_D - Fonctionnement Affichage Main menu > View Dans ce menu, Figure 23, toutes les fonctions qui influent sur l’affichage des données sont rassemblées. Figure 23 Affichage : menu affichage Touche nº Nom Description Back Renvoie au menu principal. Scale linear/logarithmic Paramètres pour la barre indicatrice et le mode tendance.
  • Page 61 D135-10-883_D - Fonctionnement Touche nº 2 : Linear L’actionnement de cette touche modifie l’affichage en une échelle linéaire commençant par zéro.  (Nombre de décades) Touche nº 3 : L’actionnement de cette touche réduit le nombre de décades affichées. La valeur minimale est de deux décades.
  • Page 62 Si l’affichage est devenu trop clair ou trop sombre accidentellement au point d’empêcher la lecture, il peut être modifié comme suit : Éteignez l’ELD500 et rallumez-le. Pendant la phase de démarrage, appuyez longuement sur la touche nº 3 ou 7 jusqu’à ce que l’affichage soit de nouveau parfaitement lisible. Ce réglage est enregistré...
  • Page 63 Les sources de gaz résiduel sont de l’air ou des gaz absorbés provenant des surfaces internes de l’ELD500. Ce fond interne ne disparaît jamais totalement. Les systèmes très propres qui ont été pompés depuis longtemps affichent un fond dans la plage de 10 mbar l/s.
  • Page 64 D135-10-883_D - Fonctionnement Mode Main menu > Mode Le menu des modes Figure 24 permet de sélectionner les différents modes de fonctionnement à partir de sous-menus. Figure 24 Affichage : menu mode Touche nº Nom Description Cancel Renvoie au menu principal sans aucune modification apportée aux paramètres actuels.
  • Page 65 Les déclencheurs 1, 2 et 3 sont des seuils de commutation programmables. Lorsque ces seuils sont dépassés, l’ELD500 réagit comme suit : Affichage Dans la ligne d’état de l’affichage, les indications pour les déclencheurs 1, 2 et 3 sont affichées à...
  • Page 66 D135-10-883_D - Fonctionnement Unités Main menu > Trigger and Alarms > Units Le taux de fuite préférentiel peut être sélectionné ici. Il existe 4 choix d’unités de pression (mbar, Pa, Torr, atm) et 5 unités de taux de fuite (mbar l/s, Pa m /s, Torr l/s, atm cc/s, s ft /yr).
  • Page 67 D135-10-883_D - Fonctionnement Temporisation de l’alarme Main menu > Trigger and Alarms > Alarm delay Dans certaines applications (par exemple, pendant le pompage d’un « système de chambre d’essai »), il peut s’avérer nécessaire de bloquer une alarme pendant une période donnée après avoir appuyé...
  • Page 68 D135-10-883_D - Fonctionnement Localisation La tonalité du signal acoustique change de fréquence uniquement dans la plage du taux de fuite (Figure 26) qui est évaluée entre une décade en dessous du seuil de déclenchement 1 et une décade au-dessus du seuil de déclenchement 1. En deçà de la plage, le son est constamment faible et au-dessus de la plage, il est constamment élevé.
  • Page 69 (langue, demande d’étalonnage, intervalle d’entretien...)). Parameter save / load Enregistrement et chargement des ensembles de paramètres (voir la section Enregistrement/chargement des paramètres). Monitoring functions Sélection des fonctions de protection de l’appareil ELD500 dans ce mode (voir la section Fonctions de contrôle). Page 59...
  • Page 70 Touche nº 8 : Leak rate internal test leak Paramètre de fuite calibrée interne ELD500 DRY Le menu du modèle ELD500 DRY permet de définir les réglages de vide suivants qui diffèrent du modèle ELD500 : Touche nº 3 : Vent delay Définition de la temporisation jusqu’à...
  • Page 71 D135-10-883_D - Fonctionnement Paramètre de fuite calibrée interne ELD500 FLEX Le menu du modèle ELD500 FLEX permet de définir les réglages de vide suivants qui diffèrent du modèle ELD500 : Touche nº 2 : Automatic purge Définition de la fonction de purge automatique en veille Touche nº...
  • Page 72 Touche nº 2 : GROSS only Dans ce mode, l’appareil ELD500 reste sur la bride d’admission après une mesure en deçà de 15 mbars. Lorsque la pression augmente au-dessus de 15 mbars, l’ELD500 passe automatiquement en mode d’évacuation. Le taux de fuite minimal détectable est de 1 x 10 mbar l/s.
  • Page 73 Touche nº 6 Partial flow enable Si les modèles ELD500 ou ELD500 FLEX sont utilisés avec un adaptateur de flux partiel, ce mode de vide doit d’abord être activé. La configuration du mode de flux partiel est décrite dans la section de configuration du flux partiel.
  • Page 74 = infini, la vanne V10 s’ouvre après avoir appuyé sur la touche de démarrage. Pour une pression d’admission p1 < 15 mbars, le modèle ELD500 DRY passe au mode de mesure et affiche les taux de fuite. Cette option est recommandée s’il est acceptable de patienter quelques instants durant l’activation du mode de mesure et si les mesures du taux de fuite...
  • Page 75 Touche nº 3 : Fore-pump type Le modèle ELD500 FLEX avec un adaptateur de flux partiel peut être utilisé avec une pompe primaire sèche (p. ex., pompe à spirales) ou une pompe primaire humide (à joint d’huile). Cette touche sert à sélectionner une pompe à vide primaire sèche (à spirale, à piston).
  • Page 76 À TQ = infini, la vanne V10 s’ouvre après avoir appuyé sur la touche de démarrage. Pour une pression d’admission p1 < 15 mbars, le modèle ELD500 passe au mode de mesure et affiche les taux de fuite. Cette option est recommandée s’il est acceptable de patienter quelques instants durant l’activation du mode de mesure et si les mesures du taux de fuite pour des...
  • Page 77 Le facteur machine prend en compte, après un étalonnage interne, le ratio entre le taux de pompage effectif d’hélium de l’ELD500 et les pompes du système de pompage en mode de mesure, ainsi que le type du mode de mesure utilisé (GROSS/FINE). En se basant uniquement sur un étalonnage interne, les valeurs de tous les taux de fuite mesurés auraient été...
  • Page 78 Purge en mode de mesure Main menu > Settings > Vacuum settings > Purge in measurement Cette fonction est possible uniquement pour le modèle ELD500 DRY. En mode de vide, la pompe à vide primaire est constamment purgée pour éviter l’accumulation d’hélium. Le cas échéant, cette fonction lors de l’utilisation du modèle ELD500 DRY, notamment en raison du...
  • Page 79 Calcul du fond de la zone d’admission Main menu > Settings > Filter and Background > Calculate inlet area background Cette fonction calcule le fond de la zone d’admission. L’ELD500 doit présenter les conditions suivantes : 1. Mode de vide 2.
  • Page 80 D135-10-883_D - Fonctionnement Masse Main menu > Settings > Mass La masse demandée du gaz mesuré peut être sélectionnée ici. L’ELD500 doit être en mode de veille pour la modification de la masse. Touche nº 2 : H2 (2 amu) De l’hydrogène de masse atomique 2 u.m.a sera mesurée.
  • Page 81 La demande d’étalonnage est alors activée. Si la demande d’étalonnage est activée, un message correspondant s’affichera 30 minutes après l’activation ou si la température de l’ELD500 a changé de plus de 5 °C (9 °F) depuis le dernier étalonnage. Page 71...
  • Page 82 Paramétrage de la fréquence d’entretien de la pompe primaire. Ce paramètre dépend de l’utilisation du modèle ELD500 WET, mais au plus tard après un fonctionnement de 4 000 heures ou une année, le graissage de la pompe doit être vérifié. Contactez Edwards pour plus d’informations sur la pompe humide (voir la section Changement d’huile).
  • Page 83 D135-10-883_D - Fonctionnement Le message pour l’entretien du filtre d’huile au refoulement peut être augmenté jusqu’à 4 000 heures au maximum. Enregistrement/chargement des paramètres Main menu > Settings > Parameter save load Permet l’enregistrement et le chargement individuel des paramètres ou le rechargement des paramètres par défaut.
  • Page 84 D135-10-883_D - Fonctionnement Touche nº 6 : Pressure limits for vacuum mode Paramétrage des limites de pression entre les modes d’évacuation, GROSS et FINE. Touche nº 7 : Pressure limits for sniff mode Définition de la limite supérieure et inférieure de la pression de reniflage Temps maximum de pompage Main menu >...
  • Page 85 Avec cette fonction, les paramètres par défaut des limites de pression pour les modes EVAC, GROSS et FINE peuvent être modifiés. Cela peut s’avérer nécessaire en cas de pompage de gaz autre que l’air dans l’ELD500. Le signal de pression issu de la pression d’admission (P1) dépendant du gaz élimine les faux signaux.
  • Page 86 Augmentation de la variation du seuil entre les modes GROSS-FINE Option admissible respectivement entre 0,05 et 0,2 mbar, et 0,05 et 0,1 mbar pour les modèles ELD500 DRY et ELD500 FLEX Limites de pression en mode renifleur Main menu > Settings > Monitoring functions > Pressure limits for sniff mode Cette fonction est automatiquement activée dans le mode renifleur Les limites de pression...
  • Page 87 Les informations sur les données internes mesurées sont fournies sur 10 écrans. Touche nº 4 : Vacuum diagram Le schéma de vide de l’ELD500 affiche une indication des vannes ouvertes et fermées temporairement. Touche nº 5 : View error list Cette touche permet d’afficher la liste des erreurs survenues et des avertissements (voir la...
  • Page 88 PIN. Ce code PIN est fourni non pas à la livraison du détecteur de fuites, mais seulement après une formation adéquate en entretien. Access Control (Commande d’accès) Main menu > Access control Ce menu peut refuser ou accepter l’accès aux fonctions spéciales de l’ELD500. Figure 31 Affichage : menu du contrôle d’accès Touche nº 3 : Zero Paramètre de la fonction de mise à...
  • Page 89 Même si l’appareil ELD500 est un instrument très stable, un étalonnage quotidien est recommandé pour un usage intensif ou de temps à autre avant d’utiliser l’appareil ELD500 afin de garantir que les variations de la température ambiante, les...
  • Page 90 D135-10-883_D - Fonctionnement Pour obtenir un étalonnage optimisé, la machine doit se réchauffer pendant au moins 20 minutes avant son utilisation. Un avertissement s’affiche sinon, mais ce dernier peut être ignoré. Procédures d’étalonnage Les procédures d’étalonnage peuvent être démarrées en appuyant sur la touche CAL (touche nº...
  • Page 91 D135-10-883_D - Fonctionnement Figure 33 Affichage : étalonnage externe, étape 2 Aucune action requise. Figure 34 Affichage : étalonnage externe, étape 3 L’écran affiche une barre indicatrice indiquant un signal relativement constant. Dans ce cas, appuyez sur OK (touche nº 8). Figure 35 Affichage : étalonnage externe, étape 4 Aucune action requise.
  • Page 92 OK (touche nº 8). Figure 37 Affichage : étalonnage externe, étape 6 Lorsque le signal et stable, confirmez avec la touche OK. Figure 38 Affichage : étalonnage externe, étape 7 L’ELD500 affiche l’ancien facteur d’étalonnage et le nouveau facteur calculé. Page 82...
  • Page 93 Mise hors/sous tension L’ELD500 peut être mis hors tension à tout moment avec l’interrupteur secteur. La pompe turbomoléculaire décélère automatiquement. Il est recommandé de mettre le détecteur de fuites au mode de veille ou de remise à l’air. Au bout d’environ 30 secondes, la pompe turbomoléculaire décélère suffisamment pour permettre le déplacement de l’ELD500.
  • Page 94 D135-10-883_D - Fonctionnement Cette page a délibérément été laissée vierge. Page 84...
  • Page 95 La fréquence mensuelle de la vérification ne constitue qu’une période nominale. Si l’usage du modèle ELD500 WET est intensif, particulièrement en mode renifleur, la vérification doit être effectuée plus régulièrement. La pompe rotative à palettes se situe sur le côté de la section mécanique au bas du détecteur de fuites.
  • Page 96 1. Mettez l’ELD500 hors tension. 2. Retirez les câbles de l’alimentation secteur de l’ELD500. 3. Séparez l’ELD500 des autres composants de vide sur l’orifice de test. Figure 40 Ouverture de la hotte mécanique 4. Tournez l’ELD500 selon l’orientation indiquée dans Figure 5.
  • Page 97 éléments filtrants doivent être nettoyés ou remplacés lorsqu’ils ont une couleur gris sombre. Les éléments filtrants sont utilisés à deux emplacements dans l’ELD500 : 1. sur la grille de ventilation du couvercle des composants électroniques (seulement visible en partie de l’extérieur) ;...
  • Page 98 Pour la vidange d’huile, utilisez le même type d’huile précédemment utilisé dans la pompe. Si vous souhaitez changer de type d’huile, consultez Edwards. L’huile doit être vidangée après les 100 premières heures de fonctionnement, puis au moins toutes les 2 000 à 3 000 heures de fonctionnement ou après un an. L’huile doit être vidangée plus régulièrement à...
  • Page 99 Le couple de serrage des boulons est de 10 Nm. Nettoyage Le carter de l’ELD500 est composé de pièces en plastique peint. Par conséquent, pour le nettoyage, seuls des agents généralement destinés à des surfaces en plastique ou peintes devraient être utilisés (les agents nettoyants ménagers usuels par exemple). Normalement, un chiffon humide suffit.
  • Page 100 D135-10-883_D - Entretien 4. Remplacez les fusibles. Comme indiqué dans Figure 41, les fusibles 1, 2, 3 et 4 se situent sur la carte MSV, les fusibles 5 et 6 sur la carte d’E/S et les fusibles 7, 8, 9 et 10 se situent sur le câblage de paroi arrière sous la carte MSV.
  • Page 101 D135-10-883_D - Entretien Filtre d’huile au refoulement Après une utilisation prolongée de l’ELD500, de l’huile peut s’accumuler dans la pompe. Suivez la procédure ci-après : 1. Mettez l’ELD500 hors tension. 2. Retirez le couvercle mécanique selon la section Ouverture de l’ELD500.
  • Page 102 Par conséquent, une inspection en usine est recommandée une fois par an. Un certificat de test peut être demandé à Edwards, le cas échéant, pour la fuite calibrée d’hélium. Dans ce cas, la fuite calibrée doit être expédiée et sera renvoyée, une fois qu’elle a été...
  • Page 103  d’étalonnage ou l’expiration du programmateur d’entretien). L’ELD500 affiche un message sur l’écran LCD et reste en mode veille ou en mode de mesure. Les messages d’avertissement s’affichent sur l’écran LCD jusqu’à ce que l’avertissement soit acquitté en appuyant sur OK (touche nº 8). L’ELD500 peut alors être réutilisé (avec éventuellement quelques restrictions).
  • Page 104 W21 EEPROM write time out Le MC 68 est défectueux. Problème de logiciel, contactez le service W22 EEPROM parameter queue overflow Edwards. La tension de 24 V pour la sortie externe 1 est trop élevée. 24 V for external output 1 is too high.
  • Page 105 D135-10-883_D - Dépannage Tableau 24 Identification des pannes (suite) Nº Message affiché Description et solutions possibles Le signal MVPZN sur la carte MSV est actif. La tension de 24 V du signal est trop faible, U < 18,3 V. Le fusible F1 sur la carte MSV a grillé. La tension de référence UREF sur la carte 24 V voltage at MSV board is too MSV XT7/1 est trop élevée, U >...
  • Page 106 Le connecteur ou le câble de la source d’ions est défectueux. Le signal MSIBE sur la carte MSV n’est pas actif. Impossible d’activer l’émission pour la cathode 1. ELD500 commute vers la cathode 2. Commandez Emission for cathode 1 can not be une nouvelle source d’ions. switched on! La cathode 1 est défectueuse...
  • Page 107 D135-10-883_D - Dépannage Tableau 24 Identification des pannes (suite) Nº Message affiché Description et solutions possibles La température ambiante est trop élevée. Temperature at electronic unit is too Ventilation impossible. high (> 59 °C). Le filtre à air est sale et doit être remplacé. La température ambiante est trop élevée.
  • Page 108 Ventilateur défectueux : remplacez le ventilateur high (> 67 °C) La température ambiante est trop élevée : alimentez l’ELD500 avec de l’air plus frais. Roulement défectueux : informez le service Edwards pour la réparation. Court-circuit dans le moteur de la pompe ou dans un câble de branchement.
  • Page 109 Ventilateur défectueux : remplacez le ventilateur. too high (> 90 °C) La température ambiante est trop élevée : alimentez l’ELD500 avec de l’air plus frais. Roulement défectueux : informez le service Edwards pour la réparation. La pompe n’a pas pu être identifiée ou n’est pas connectée.
  • Page 110 D135-10-883_D - Dépannage Tableau 24 Identification des pannes (suite) Nº Message affiché Description et solutions possibles Le signal maximal a atteint la plage de limites d’équilibrage de la masse. Le signal du taux de fuite était instable lors du réglage de la masse. Procédez à un nouvel W77 Peak not in range étalonnage.
  • Page 111 D135-10-883_D - Dépannage Tableau 24 Identification des pannes (suite) Nº Message affiché Description et solutions possibles EEPROM parameter initialized. Le logiciel a été mis à jour. Check the settings Interruption des droits d’écriture. Vérifiez tous les réglages. Le logiciel a été mis à jour. Dans ce cas, la Lost EEPROM parameter! Check the remarque peut être ignorée.
  • Page 112 D135-10-883_D - Dépannage Cette page a délibérément été laissée vierge. Page 102...
  • Page 113 D135-10-883_D - Élimination des déchets Élimination des déchets L’équipement peut avoir été contaminé par le processus ou par les influences du milieu. Dans ce cas, l’équipement doit être décontaminé conformément aux réglementations en vigueur. L’offre pour ce service est décomposée en plusieurs forfaits. Détails supplémentaires disponibles sur demande.
  • Page 114 D135-10-883_D - Élimination des déchets Cette page a délibérément été laissée vierge. Page 104...
  • Page 115 D135-10-883_D - Élimination des déchets Cette page a délibérément été laissée vierge. Page 105...
  • Page 116 D135-10-883_D - Élimination des déchets Cette page a délibérément été laissée vierge. Page 106...